Сусцептори за МОЦВД реакторе

Семицорек-ови сусцептори за МОЦВД реакторе су висококвалитетни производи који се користе у индустрији полупроводника за различите примене као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наш производ је доступан у облику зупчаника или прстена и дизајниран је да постигне отпорност на оксидацију при високим температурама, чинећи га стабилним на температурама до 1600°Ц.

Пошаљи упит

Опис производа

Наши сусцептори за МОЦВД реакторе су направљени ЦВД хемијским таложењем паре у условима хлорисања на високим температурама, обезбеђујући високу чистоћу. Површина производа је густа, са финим честицама и великом тврдоћом, што га чини отпорним на корозију на киселине, алкалије, соли и органске реагенсе.
Наши сусцептори за МОЦВД реакторе су дизајнирани да обезбеде премаз на свим површинама, избегавајући љуштење и постижући најбољи ламинарни образац струјања гаса. Производ гарантује уједначеност термичког профила и спречава било какву контаминацију или дифузију нечистоћа током процеса, обезбеђујући висококвалитетне резултате.
Ми у Семицорек-у дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри сусцептора за МОЦВД реакторе

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа