Кина Сховер Хеад Мануфацтурерс, Супплиерс, Фацтори

СиЦ (силицијум карбид) глава туша је специјализована компонента која се користи у различитим индустријским процесима, посебно у индустрији производње полупроводника. Дизајниран је да дистрибуира и испоручује процесне гасове равномерно и прецизно током процеса хемијског таложења паре (ЦВД) и процеса епитаксијалног раста.

Глава туша је у облику диска или плоче са више равномерно распоређених рупа или млазница на површини. Ове рупе служе као излази за процесне гасове, омогућавајући им да се убризгавају у процесну комору или реакциону комору. Величина, облик и расподела рупа могу да варирају у зависности од специфичне примене и захтева процеса.

Једна од кључних предности употребе СиЦ главе туша је њена одлична топлотна проводљивост. Ово својство омогућава ефикасан пренос топлоте и равномерну дистрибуцију температуре по површини главе туша, спречавајући вруће тачке и обезбеђујући конзистентне услове процеса. Побољшана топлотна проводљивост такође омогућава брзо хлађење главе туша након процеса, минимизирајући застоје и повећавајући укупну продуктивност.

СиЦ главе туша су веома издржљиве и отпорне на хабање, чак и под продуженим излагањем корозивним гасовима и високим температурама. Ова дуговечност се преводи у продужене интервале одржавања и смањено време застоја опреме, што резултира уштедом трошкова и побољшаном поузданошћу процеса.

Поред своје робусности, СиЦ туш главе нуде одличне могућности дистрибуције гаса. Прецизно пројектовани узорци рупа и конфигурације обезбеђују равномеран проток и дистрибуцију гаса преко површине подлоге, промовишући доследно таложење филма и побољшане перформансе уређаја. Уједначена дистрибуција гаса такође помаже да се минимизирају варијације у дебљини филма, саставу и другим критичним параметрима, доприносећи побољшаној контроли процеса и приносу.

Семицорек нуди полупроводничку туш главу од синтерованог силицијум карбида ниске отпорности.  Имамо могућност да дизајнирамо и испоручимо напредне керамичке материјале користећи низ јединствених могућности.