Графитни сусцептор са премазом од силицијум карбида за МОЦВД

Семицорек је поуздан добављач и произвођач графитних сусцептора за МОЦВД премаза од силицијум карбида. Наш производ је специјално дизајниран да задовољи потребе индустрије полупроводника у расту епитаксијалног слоја на чипу плочице. Производ се користи као средишња плоча у МОЦВД, са зупчаником или прстенастим дизајном. Има високу отпорност на топлоту и корозију, што га чини идеалним за употребу у екстремним окружењима.

Пошаљи упит

Опис производа

Наш графитни носач са силицијум-карбидним премазом за МОЦВД има неколико кључних карактеристика које га издвајају од конкуренције. Обезбеђује премаз на целој површини, избегавајући љуштење, и има отпорност на оксидацију при високим температурама, обезбеђујући стабилност чак и на високим температурама до 1600°Ц. Производ је направљен са високом чистоћом кроз ЦВД хемијско таложење паре у условима хлорисања на високим температурама. Има густу површину са финим честицама, што га чини веома отпорним на корозију од киселина, алкалија, соли и органских реагенса.
Наш графитни сусцептор са силицијум-карбидним премазом за МОЦВД је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Спречава било какву контаминацију или дифузију нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.

Параметри силицијум карбидног премаза графитног сусцептора за МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике силицијум карбидног премаза графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа