Као професионална производња, желели бисмо да вам обезбедимо полупроводничке компоненте. Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.
Компоненте обложене СиЦ-ом високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошног материјала од графита за вруће зоне раста кристала (грејачи, носачи за лончиће, изолација), до високо прецизних графитних компоненти за опрему за обраду плочица, као што су графитни носачи обложени силицијум карбидом за епитаксију или МОЦВД.
Предности за полупроводничке процесе
Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја.
Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.
Енд Еффецтор →
Крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача.
Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.
Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.
ЦВД СиЦ премаз Семицорек СиЦ Цоатинг Хеатер нуди врхунске перформансе у заштити грејних елемената од грубих, корозивних и реактивних окружења која се често сусрећу у процесима као што су метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) и епитаксијални раст.**
ОпширнијеПошаљи упитМетална глава туша, позната као плоча за дистрибуцију гаса или глава за гас, је критична компонента која се увелико користи у процесима производње полупроводника. Њена примарна функција је да равномерно распоређује гасове у реакционој комори, обезбеђујући да полупроводнички материјали дођу у равномеран контакт са процесом гасови.**
ОпширнијеПошаљи упитМОЦВД грејач компаније Семицорек је високо напредна и пажљиво пројектована компонента која нуди мноштво предности, укључујући изузетну хемијску чистоћу, топлотну ефикасност, електричну проводљивост, високу емисивност, отпорност на корозију, неоксидабилност и механичку чврстоћу.**
ОпширнијеПошаљи упит