Као професионална производња, желели бисмо да вам обезбедимо полупроводничке компоненте. Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.
Компоненте обложене СиЦ-ом високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошног материјала од графита за вруће зоне раста кристала (грејачи, носачи за лончиће, изолација), до високо прецизних графитних компоненти за опрему за обраду плочица, као што су графитни носачи обложени силицијум карбидом за епитаксију или МОЦВД.
Предности за полупроводничке процесе
Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја.
Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.
Енд Еффецтор →
Крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача.
Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.
Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.
Семицорек плоснаво рубњак Цхуцк је керамички диск направљен од белих глисерине високе чистоће, дизајнирано за мљевење ивица у полуводичкој производњи. Одабир Семицорек-а осигурава врхунски квалитет материјала, прецизно инжењеринг и поуздане перформансе које подржавају најзахтевније окружење за прераду резина. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек порозних глисних сијалица су микропора црна алумина вакуумска учвршћења са 35-40% порозности, дизајнираних да обезбеди уједначену усисавање и сигурно руковање сигурним плочама у производњи полуводича. Одабир Семицорек-а значи поуздан керамички инжењеринг, врхунски квалитет материјала и доследне перформансе које чувају принос и стабилност процеса. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ал2о3 вакуумски стејми су микропорозна керамичка адсорпција учвршћења направљена од црне глинице са порозном од 35-40%, посебно дизајнираних за руковање вафлу у полуводичкој апликацијама. Одабир Семицорек-а значи имати користи од напредне керамичке технологије, прецизног инжењеринга и поузданог квалитета производа који осигуравају стабилне перформансе у захтевној еколошкој средини. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Алумина Керамичка рука је роботска компонента високе чистоће која је дизајнирана за прецизно руковање и контаминационим руковањем се полуводичком производњом. Одабир Семицорек-а осигурава само напредни квалитет материјала Алумина, већ и прецизно изравнавање које гарантује трајност, чистоћу и поузданост у критичним процесним окружењима. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СИЦ улазне прстенове су високе дијелове силицијум-карбида дизајнирани за опрему за прераду полуводича, нудећи изузетну топлотну стабилност, хемијску отпорност и прецизну обраду. Одабир Семицорек-а значи стицање приступа поузданим, прилагођеним и загађеним решењима која верују водећи произвођачи полуводича. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Сиц Арм је компонента са високом чистоћом силиконским карбидима дизајнирана за прецизно руковање и позиционирање у производњи полуводича. Одабир Семицорек-а осигурава неуспоредиве материјалне поузданости, хемијску отпорност и прецизно инжењерство које подржава најзахтевнији поступци полуводича. *
ОпширнијеПошаљи упит