МОЦВД сусцептор за епитаксијални раст

Семицорек је водећи добављач и произвођач МОЦВД сусцептора за епитаксијални раст. Наш производ се широко користи у индустрији полупроводника, посебно у расту епитаксијалног слоја на чипу плочице. Наш сусцептор је дизајниран да се користи као средишња плоча у МОЦВД-у, са дизајном зупчаника или прстена. Производ има високу отпорност на топлоту и корозију, што га чини стабилним у екстремним окружењима.

Пошаљи упит

Опис производа

Једна од предности нашег МОЦВД сусцептора за епитаксијални раст је његова способност да обезбеди премаз на целој површини, избегавајући љуштење. Производ има отпорност на оксидацију при високим температурама, што обезбеђује стабилност на високим температурама до 1600°Ц. Висока чистоћа нашег производа постиже се хемијским таложењем паре ЦВД у условима хлорисања на високим температурама. Густа површина са финим честицама осигурава да је производ високо отпоран на корозију од киселина, алкалија, соли и органских реагенса.
Наш МОЦВД сусцептор за епитаксијални раст је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем МОЦВД сусцептору за епитаксијални раст.

Параметри МОЦВД сусцептора за епитаксијални раст

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике МОЦВД сусцептора за епитаксијални раст

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа