СиЦ пресвучени графитни сусцептор за МОЦВД

Семицорек је велики произвођач и добављач графитних сусцептора обложених силицијум карбидом у Кини. Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наш графитни сусцептор обложен СиЦ за МОЦВД има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек СиЦ обложен графитни сусцептор за МОЦВД је графитни носач високе чистоће обложен силицијум карбидом, који се у процесу користи за раст епиксијалног слоја на чипу плочице. То је средишња плоча у МОЦВД, облик зупчаника или прстена. СиЦ пресвучени графитни сусцептор за МОЦВД има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремном окружењу.
У компанији Семицорек, ми смо посвећени пружању висококвалитетних производа и услуга нашим клијентима. Користимо само најбоље материјале, а наши производи су дизајнирани да задовоље највише стандарде квалитета и перформанси. Наш СиЦ пресвучен графитни сусцептор за МОЦВД није изузетак. Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о томе како вам можемо помоћи са вашим потребама обраде полупроводничких плочица.

Параметри графитног сусцептора обложеног СиЦ за МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа