Поклопци комора се користе за стварање чистог, инертног и заштићеног окружења у коморама за таложење, тако да су изложени плазми и високој температури током процеса таложења или јеткања. Поклопци Семицорек комора су издржљиве керамичке компоненте обложене силицијум карбидом користећи методу хемијског таложења паром (ЦВД), које су одличне да издрже ова изазовна окружења.