Семицорек РТП носач је обложен силицијум карбидом коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД), који је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење. У сржи полупроводничког процеса, епитаксијски пријемници су прво подвргнути окружењу таложења, тако да има високу отпорност на топлоту и корозију. Носач обложен СиЦ такође има високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
● Графит обложен СиЦ-ом високе чистоће
● Врхунска отпорност на топлоту и хемијску отпорност
● Висока термичка униформност
● Одлична отпорност на хабање