Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
|
Пројекти |
Параметерс |
|
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
|
Емисивност |
0.3 |
|
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
|
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
|
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
|
Термичка стабилност |
<2500℃ |
|
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
|
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Семицорек порозни тантал карбидни прстенови су ватросталне компоненте високих перформанси посебно дизајниране за процес физичког транспорта паре (ПВТ) раста кристала силицијум карбида (СиЦ), са монолитном синтерованом структуром која нуди изузетну термичку стабилност и контролисану пропустљивост гаса.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложене графитне плочице су најсавременије компоненте које се обично примењују за стабилну подршку и позиционирање полупроводничких плочица током напредних епитаксијалних процеса полупроводника. Користећи најсавременије производне технологије и зрело производно искуство, Семицорек је посвећен снабдевању графитних плочица обложених ТаЦ-ом по наруџби, водећи квалитет на тржишту за наше цењене купце.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ЦВД ТаЦ обложени сусцептори су графитни пријемници високих перформанси са густим ТаЦ премазом, дизајнирани да испоруче одличну термичку униформност и отпорност на корозију за захтевне СиЦ епитаксијалне процесе раста. Семицорек комбинује напредну технологију ЦВД премаза са строгом контролом квалитета како би обезбедио дуготрајне пријемнике са ниском контаминацијом у које верују глобални произвођачи СиЦ епи.*
ОпширнијеПошаљи упитВодећи прстенови обложени Семицорек тантал карбидом су компоненте прстена високих перформанси које се користе у опреми за раст полупроводничких кристала. Они су посебно дизајнирани да створе одговарајући температурни градијент и стабилно окружење протока ваздуха током раста кристала. Одабиром водећих прстенова обложених Семицорек тантал карбидом, имаћете користи од неупоредиве технологије премаза и високо ефикасног и стабилног искуства производње.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатед Грапхите Цруцибле је направљен од графита премаза тантал-карбида ЦВД методом, који је најпогоднији материјал који се примењује у процесу производње полупроводника. Семицорек је компанија која је доследно специјализована за ЦВД керамичке премазе и нуди најбоља решења материјала у индустрији полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложене компоненте у епитаксијалном расту је драгоцени машински део који се налази у улазу ваздуха у епитаксијалном процесу у полупроводнику. Семицорек је врхунска компанија специјализована за технологију ЦВД ТаЦ премаза у Кини и извози производе широм света.*
ОпширнијеПошаљи упит