Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
|
Пројекти |
Параметерс |
|
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
|
Емисивност |
0.3 |
|
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
|
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
|
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
|
Термичка стабилност |
<2500℃ |
|
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
|
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Семицорек ТаЦ обложене компоненте у епитаксијалном расту је драгоцени машински део који се налази у улазу ваздуха у епитаксијалном процесу у полупроводнику. Семицорек је врхунска компанија специјализована за технологију ЦВД ТаЦ премаза у Кини и извози производе широм света.*
ОпширнијеПошаљи упитТаЦ обложени држач кристала за семе је компонента високих перформанси посебно дизајнирана за окружење за раст полупроводничких материјала. Као водећи произвођач ТТаЦ обложених држача семенских кристала, семицорек вам нуди ефикасна решења компоненти језгра у области производње полупроводника врхунског квалитета.
ОпширнијеПошаљи упитНосач постоља Семицорек ТаЦ Цоатинг је критична компонента дизајнирана за епитаксијалне системе раста, посебно прилагођена за подупирање постоља реактора и оптимизацију дистрибуције протока процесног гаса. Семицорек испоручује високо перформансе, прецизно пројектовано решење које комбинује врхунски структурални интегритет, термичку стабилност и хемијску отпорност — обезбеђујући доследне, поуздане перформансе у напредним применама епитаксије.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ЦВД ТаЦ Цоатед Сусцептор је врхунско решење дизајнирано за МОЦВД епитаксијалне процесе, пружајући изванредну термичку стабилност, чистоћу и отпорност на корозију у екстремним процесним условима. Семицорек се фокусира на прецизно пројектовану технологију премаза која обезбеђује доследан квалитет плочице, продужен животни век компоненти и поуздане перформансе у сваком производном циклусу.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатед Цруциблес су контејнери високих перформанси дизајнирани за примену на екстремним температурама, погодни и за топљење метала и за напредне полупроводничке процесе. Одабир Семицорек-а значи добијање приступа најсавременијој технологији премаза и инжењерској стручности који пружају изузетну чистоћу, издржљивост и стабилност у најзахтевнијим окружењима.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложена планетарна плоча је компонента високе прецизности дизајнирана за МОЦВД епитаксијални раст, са планетарним кретањем са вишеструким џеповима за плочице и оптимизованом контролом протока гаса. Одабир Семицорек-а значи приступ напредној технологији премаза и инжењерској стручности који пружају изузетну издржљивост, чистоћу и стабилност процеса за индустрију полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упит