Фокусни прстен или ивични прстенови су дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице.
Семицорек фокусни прстенови су обложени силицијум карбидом коришћењем хемијског таложења паре (ЦВД) обезбеђују врхунску отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину епи слоја и отпорност, и издржљиву хемијску отпорност, који су направљени да издрже екстремна окружења у процесу гравирања плазмом или сувог гравирања .
Семицорек издржљиви фокусни прстенови за обраду полупроводника су дизајнирани да издрже екстремна окружења плазма комора за нагризање које се користе у обради полупроводника. Наши фокусни прстенови су направљени од графита високе чистоће обложеног густим премазом од силицијум карбида (СиЦ) отпорног на хабање. СиЦ премаз има висока својства отпорности на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост. Ми наносимо СиЦ у танким слојевима на графит користећи процес хемијског таложења паре (ЦВД) да бисмо побољшали век трајања наших фокусних прстенова.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Пласма обрада фокусни прстен је специјално дизајниран да задовољи високе захтеве обраде плазма нагризањем у индустрији полупроводника. Наше напредне компоненте обложене силицијум карбидом високе чистоће су направљене да издрже екстремна окружења и погодне су за употребу у различитим апликацијама, укључујући слојеве силицијум карбида и епитаксијске полупроводнике.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек напредни СиЦ фокусни прстенови високе чистоће су направљени да издрже екстремна окружења у коморама за нагризање плазме (или суво нагризање). Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит