Фокусни прстен или ивични прстенови су дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице.
Семицорек фокусни прстенови су пресвучени силицијум-карбидом коришћењем хемијског таложења паре (ЦВД) обезбеђују врхунску отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину епи слоја и отпорност, и издржљиву хемијску отпорност, који су направљени да издрже екстремна окружења у процесу гравирања плазмом или сувог гравирања .