Кина Специјални графит Мануфацтурерс, Супплиерс, Фацтори

Специјални графит је врста вештачког графита који се обрађује. То је важан материјал који је неопходан у свим аспектима полуводичке и фотонапонских производног процеса, укључујући раст кристала, ионска имплантација, епитаксу итд.

1. раст кристала силицијум-карбида (сиц)

Силиконски карбид, као медиводни материјал треће генерације, широко се користи у новим енергетским возилима, 5Г комуникацијама и другим пољима. У 6-инчним и 8-инчним процесу раста система СИЦ-а, изостатски графит се пре свега користи за производњу следећих кључних компоненти:

Графит Цруцибле: Ово се може користити за синтетизовати сит прах у праху и такође помагати у расту кристала на високим температурама. Његова висока чистоћа, отпорност на високу температуру и топлотни удар отпорно осигуравају стабилно окружење за раст кристала.

Графички грејач: Ово омогућава јединствену дистрибуцију топлоте, обезбеђивање висококвалитетног раста система за СИЦ.

Изолациона цев: Ово одржава температурно уједначеност унутар пећи на кристално расту и смањује губитак топлоте.

2 Ион имплантација

Ионска имплантација је кључни процес производње полуводича. Изостатски графит се пре свега користи за производњу следећих компоненти у ИОН имплантаторима:

Графички геттер: Ово упија ионе имплитуре у јонском снопу, обезбеђујући ионску чистоћу.

ГРАФИТНИ Прстен за фокусирање: Ово фокусира ионску греду, побољшање ионске тачности имплантата и ефикасности. ГРАФИТНИ ЛАЧОВИ СУСТЦАТА: Користи се за подршку силиконским ваферима и одржавање стабилности и доследности током ионске имплантације.

3. Процес епитаксије

Процес епитаксије је критични корак у производњи полуводича. ИССОСТАТИЈТИЈТИЈСКО ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ се првенствено користи за производњу следећих компоненти у пећи Епитаксе:

Графички носачи и суцептори: користи се за подршку силиконским ваферима, пружајући стабилну подршку и јединствену топлотну проводљивост током процеса епитаксије.

4. Остале апликације за производњу полуводича

ИССОСТАТИЈТИЈТИЈСКО ГРАФИТЕ ГРАФИТЕ се такође широко користи у следећим апликацијама за производњу полуводича:

Процес јеткања: користи се за производњу графитних електрода и заштитних компоненти за сусере. Његова корозијска отпорност и висока чистоћа обезбеђују стабилност и прецизност у процесу јеткања.

Хемијска таложење паре (ЦВД): Користи се за производњу графичних ладица и грејача у оквиру ЦВД пећи. Његова висока топлотна проводљивост и отпорност на високу температуру осигуравају уједначен танки таложни таложење.

Испитивање паковања: Користи се за производњу тестних плоча и носача носача. Његова висока прецизност и ниска контаминација осигуравају тачне резултате испитивања.

Предности графитних делова

Висока чистоћа:

Користећи високу чистоћу изостантни графитни материјал са изузетно ниском садржајем нечистоће, задовољава строге захтеве чистоће од полуводича. Властити пречишћавање компаније може пречистити графит на испод 5 ппм.

Висока прецизност:

Са напредном опремом за обраду и технологију зреле прераде, осигурава да је димензионална тачност производа и толеранције о положају и толеранција положаја достићи ниво микрона.

Високи перформансе:

Производ има одличну отпорност на високу температуру, отпорност на корозију, отпорност на зрачење, високу топлотну проводљивост и друга својства, испуњавање различитих оштрих услова рада полуводича.

Прилагођена услуга:

Прилагођени дизајн производа и услуге обраде производа могу се дати према купцу треба да задовоље потребе различитих сценарија апликација.

Врсте графитских производа

(1) изостатско графит
Производи Изостатског графита производе се хладним изостатским пресовањем. У поређењу са другим методама формирања, вариви произведени овим процесом имају одличну стабилност. Графитни производи потребни за појединачне кристале СИЦ-а су велике величине, што ће довести до неравномерне чистоће на површини и унутар графичних производа, који не могу да испуне захтеве за употребу. Да би се испунили дубоки захтеви за пречишћавање великих графичних производа потребних за појединачне кристале СИЦ-а, требало би усвојити јединствени процес пречишћавања високог температура термохемијских пулса за постизање дубоког и уједначеног пречишћавања великих производа велике величине или посебне у облику графита, тако да чистоћа површине производа и језгре могу испунити захтеве за употребу.

(2) порозни графит
Порозни графит је врста графита са великом порозношћу и ниском густином. У процесу раста система СИЦ-а порозни графит игра значајну улогу у побољшању једноличности преноса масе, смањење стопе појаве фазе и побољшање кристалног облика.
Употреба порозног графита побољшава температуру и температуру уједначености сировина, повећава разлику аксијалне температуре у лонцу, а такође има одређени ефекат на слабљење рекристализације површине сировине; У комори за раст порозни графит побољшава стабилност протока материјала у целом процесу раста, повећава се однос Ц / СИ, помаже у смањењу вероватноће промене фазе, а истовремено порозни графит такође игра улогу у побољшању кристалног интерфејса.

(3) осећај
Мекани осећај и тешко је осећао и играју улогу важних топлотних изолационих материјала у расту и епитаксалним везама за СИЦ и епитаксалне везе.

(4) графитна фолија
Графички папир је функционалан материјал направљен од графита високог угљеника кроз хемијско лечење и високотемпропусно котрљање. Има високу топлотну проводљивост, електричну проводљивост, флексибилност и отпорност на корозију.

(5) Композитни материјали
Термално поље угљеника-угљеника је један од основних потрошњи у фотонапонским производњи једнократне кристалне пећи.

Семицорек продукција

Семицорек прави графит са малим серијским, прилагођеним методама производње. Производња малих серија чини производе више контролисаније. Цео процес контролише програмибилне логичке контролере (ПЛЦС), забиљежени су детаљни подаци о процесу, омогућавајући комплетну сљедивост животног циклуса.

Током целог процеса печења, конзистентност постигнута у отпорности на различитим локацијама, и одржана је усклађена контрола температуре. То осигурава хомогеност и поузданост графичних материјала.

Семицорек користи потпуно изостатску пресошујући технологију, која се разликује од осталих добављача; То значи да је графит ултра униформа и доказано је посебно важно у епитаксијалним процесима. Проведени су свеобухватни тестови уједначености, укључујући густину, отпорност, тврдоћа, чврстоћу савијања и снаге у различитим узорцима.