Семицорек је водећи произвођач и добављач МОЦВД сусцептора обложеног СиЦ. Наш производ је специјално дизајниран за индустрију полупроводника да расте епитаксијални слој на чипу плочице. Графитни носач високе чистоће обложен силицијум карбидом се користи као средишња плоча у МОЦВД, са дизајном у облику зупчаника или прстена. Наш сусцептор се широко користи у МОЦВД опреми, обезбеђујући високу отпорност на топлоту и корозију и велику стабилност у екстремним окружењима.
Једна од најзначајнијих карактеристика нашег МОЦВД сусцептора је да обезбеђује премаз на целој површини, избегавајући љуштење. Производ има отпорност на оксидацију при високим температурама, која је стабилна на високим температурама до 1600°Ц. Висока чистоћа се постиже коришћењем ЦВД хемијског таложења паре у условима хлорисања на високим температурама. Производ има густу површину са финим честицама, што га чини високо отпорним на корозију од киселина, алкалија, соли и органских реагенса.
Наш МОЦВД сусцептор обложен СиЦ обезбеђује најбољи ламинарни образац протока гаса, који гарантује равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице. Семицорек нуди конкурентну предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Наш тим је посвећен пружању одличне корисничке услуге и подршке. Посвећени смо томе да постанемо ваш дугорочни партнер, пружајући висококвалитетне и поуздане производе који ће помоћи вашем пословању да расте.
Параметри МОЦВД сусцептора обложеног СиЦ
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике МОЦВД сусцептора обложеног СиЦ
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа