Монокристалне силицијумске електроде

Монокристалне силиконске електродесе обично инсталирају на врху коморе за гравирање, служећи као горња електрода. Површина монокристалних силицијумских електрода има равномерно распоређене микрорупе, које могу равномерно да испоруче гас за нагризање у реакциону комору. Током процеса јеткања, они раде са доњом електродом како би генерисали униформно електрично поље, што доприноси обезбеђивању идеалних радних услова за прецизно гравирање.

Пажљив избор материјала

Семицорек бира врхунски монокристални силицијум узгојен у МЦЗ-у за производњу монокристалних силицијумских електрода, нудећи водеће перформансе и квалитет производа у индустрији.

1. Ултра-висока чистоћа

Семицорек монокристалне силицијумске електроде имају ултра-високу чистоћу од преко 99,9999999%, што значи да је садржај унутрашњих металних нечистоћа изузетно низак.

2. Изузетна уједначеност отпора

За разлику од конвенционалног ЦЗ монокристалног силицијума, монокристални силицијум узгојен у МЦЗ-у који користи Семицорек постиже униформност отпорности испод 5%. Његова ниска рез. контролише се испод 0,02 Ω·цм, средња рез. је између 0,2 и 25Ω·цм, и високе резолуције. је између 70-90 Ω·цм (прилагођавање је доступно на захтев).

3. Одлична структура материјала

Монокристални силицијум узгајан МЦЗ методом нуди стабилнију структуру и мање дефеката, чинећи Семицорек монокристалне силицијумске електроде да дају изузетну отпорност на корозију у плазми и издрже тешке услове рада јеткања.

---

Прецизност обраде високог стандарда

Семицорекмонокристални силицијумЕлектроде се производе кроз комплетан производни процес од силицијумских ингота до готовог производа, укључујући сечење, површинско брушење, бушење рупа, мокро нагризање и полирање површине. Семицорек подржава строгу контролу прецизности у сваком кораку како би осигурао да се пречник, дебљина, равнина површине, размак рупа и отвор електрода одржавају унутар идеалних толеранција.

1. Обрада микрорупа

Микро-рупе на монокристалним силицијумским електродама имају уједначен размак и конзистентне пречнике (у распону од 0,2 до 0,8 мм), са глатким унутрашњим зидовима без ивица. Ово ефикасно гарантује равномерно и стабилно снабдевање гасом за јеткање, чиме се обезбеђује уједначеност и прецизност нагризања плочице.

2. Тачност обраде

Тачност обраде Семицорек монокристалних силицијумских електрода контролише се унутар 0,3 мм, а њихова прецизност полирања може се строго контролисати испод 0,1 µм, а фино брушење је мање од 1,6 µм.