Силиконски штитни прстен

Семицорек силицијумски штитни прстен је критична полупроводничка компонента у процесу нагризања. Његова примарна функција је да окружи електроду и спречи прекомерно цурење плазме. Са чистоћом материјала већом од 9Н (99,9999999%), штитни прстен може бити направљен и од монокристала и од више кристаласилицијум, обезбеђујући ултра чист рад и поуздану компатибилност са напредним производним процесима полупроводника.

Трајност и исплативост су још две вредније предности. Штити непотребне делове коморе од плазме, заштитни прстен смањује хабање других критичних компоненти, што смањује напоре одржавања и повећава укупно време рада. Дуг радни век и ређа замена чине га исплативим решењем за фабрике полупроводника за повећање продуктивности и тиме смањење оперативних трошкова.

Топлотна и електрична својства силицијума додатно подржавају перформансе штитног прстена за јеткање. Његова отпорност на високе температуре процеса обезбеђује структурални интегритет током дужег излагања плазми, а његова електрична проводљивост омогућава компоненти да правилно функционише као елемент у систему електрода. Заједно, ове апликације побољшавају задржавање плазме и побољшавају униформност енергије, што омогућава поновљиве профиле нагризања на плочицама.

Механичка толеранција је још једна значајна карактеристика силиконског штитног прстена за гравирање. Будући да је произведен у малим толеранцијама, обезбеђује тачно позиционирање око електроде и одржава размак и геометрију коморе. Ова механичка прецизност ствара поновљиве услове процеса за мање варијабилности између појединачних серија и омогућава производњу полупроводника великог обима. Сам материјал има одличну компатибилност са плазма окружењима; стога еродирање његове структуре омогућава да типично обезбеди дуг радни век и стабилност у перформансама процеса.

Трајност и исплативост су још две вредније предности. Штити непотребне делове коморе од плазме, заштитни прстен смањује хабање других критичних компоненти, што смањује напоре одржавања и повећава укупно време рада. Дуг радни век и ређа замена чине га исплативим решењем за фабрике полупроводника за повећање продуктивности и тиме смањење оперативних трошкова.

ТхеСилицијумЗаштитни прстен се такође може прилагодити за сваку конфигурацију алата и спецификације процеса јер су доступни у неколико величина и геометрија како би се прилагодили многим различитим плазма коморама за нагризање које производи, док се и даље постиже оптимално пристајање. Поред тога, површински третмани и полирање се могу користити за даље смањење стварања честица за ултра чисте стандарде производње.