Силиконски чамац на постољу

Семицорек силиконски чамац је ултра чист носач плочице који је пројектован са високом чистоћом и прецизношћу да подржи високотемпературне полупроводничке процесе као што су оксидација, дифузија и ЛПЦВД (Лов Прессуре Цхемицал Вапор Депоситион). Овај носач вафла је направљен од 9Н (99,9999999%)силицијум високе чистоћекако би се осигурала изузетна чистоћа, термички коефицијент експанзионе стабилности и механичка прецизност за подршку плочице и доследну контролу процеса у ултра чистим окружењима.

Како се геометрије полупроводничких уређаја и даље смањују, потреба за ултра чистим и термички компатибилним компонентама за руковање плочицама никада није била толика потражња. Силиконски чамац са постољем испуњава ове захтеве са високом димензионалном прецизношћу и чистоћом без премца да би се користио у напредним системима пећи који раде између 1100°Ц и 1250°Ц.

Структура силиконског чамца може се прилагодити тако да задовољи захтеве купаца, укључујући облик шипке жлеба, дужину зупца жлеба, облик, угао нагиба и укупни капацитет оптерећења плочице. Високотемпературни силиконски чамци могу ефикасно смањити контактна оштећења силицијумских плочица, побољшавајући принос процеса. Његов дизајн "торњева без клизања" на високим температурама подржава плочице само на врху потпорног зуба. У поређењу са силицијум карбидом, силицијум је релативно мање тврд, смањујући механичка оштећења на плочицама, чиме се побољшава квалитет решетке и ефективно смањују трошкови производње.

Чамац на постољу је доступан умонокристални или поликристални силицијумда би се уклонили ризици од контаминације који су повезани са материјалима који нису силицијум. Платформа дели исти хемијски састав као и активно коришћене плочице, што минимизира нежељене реакције или дифузију јона током процеса високе температуре. Хомогеност материјала значајно смањује физички идентитет честица и металних нечистоћа за конзистентан висок квалитет плочице и висок принос уређаја кроз поновљене производне циклусе.

Силицијумски чамац на постољу је компатибилан са процесима оксидације и дифузије, као и са ЛПЦВД и апликацијама жарења које захтевају непревазиђену уједначеност температуре и контролу контаминације. Силицијумски чамац на постољу је компатибилан са другим компонентама силицијумске пећи као што су цев за убризгавање, цев за кошуљицу и цев за одржавање у систему за термичку обраду вафла.

Примарна предност чамца са силиконским постољем је његова оптимизована механичка и термичка својства. Тврдоћа силицијума у ​​поређењу са СиЦ-ом или кварцом ће помоћи у смањењу микро-огреботина и стварања честица услед вибрација или кретања плочице током загрејаног ширења. Ово посебно важи за плочице осетљиве на полеђину, где је интегритет површине плочице критичан за принос и перформансе уређаја.

Чамац са постољем има добру топлотну проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења који обезбеђује карактеристике преноса топлоте уз одржавање облика и структурне чврстоће са више циклуса грејања и хлађења. Робусни дизајн такође обезбеђује дуг животни век уз минималне деформације у екстремним условима пећи.

Семицорек обезбеђује прилагођене дизајне за различите конфигурације опреме, укључујући пречник плочице, број утора, висину постоља и варијације геометрије. Сваки производ се проверава на чистоћу, мере се димензије и испитује топлотну проводљивост, све да би се испунили највиши стандарди у процесу производње полупроводника.

Силицијумски чамац на постољу је компатибилан са процесима оксидације и дифузије, као и са ЛПЦВД и апликацијама жарења које захтевају непревазиђену уједначеност температуре и контролу контаминације. Силицијумски чамац на постољу је компатибилан са другим компонентама силицијумске пећи као што су цев за убризгавање, цев за кошуљицу и цев за одржавање у систему за термичку обраду вафла.