Силицијумски чамац

Семицорек може прилагодити структуру чамца од силиконске плочице, укључујући облик шипке жлеба, дужину зуба жлеба, облик, угао нагиба и укупни капацитет оптерећења плочице, и може се производити према захтевима купаца. Високотемпературни силиконски чамци могу ефикасно смањити контактно оштећење силиконских плочица и побољшати принос процеса. Његов дизајн "торњева без клизања" на високим температурама подржава плочице само на врху потпорног зуба. У поређењу сасилицијум карбида, силицијум има релативно ниску тврдоћу, што смањује механичка оштећења на плочицама, чиме се побољшава брзина пролаза решетке и ефективно смањују трошкови производње. Чамац од спојеног силикона се састоји од неколико делова: зубаца, основне плоче и горње плоче, који су спојени заједно. Ово смањује трошкове производње. У случају делимичног оштећења, оштећени делови се могу заменити без замене целог силиконског чамца, што значајно смањује трошкове власништва током употребе. Поред тога, силицијумски чамац има велику горњу границу за таложење полисилицијума, што може ефикасно смањити учесталост ПМ опреме и побољшати производни капацитет.

Семицорек Силицон Вафер Боат је иновативан, наменски дизајниран, носач за плочице. Посебно је креиран за високотемпературну обраду пећи која се користи у индустрији полупроводника, укључујући процесе оксидације и редукције на температурама између 1200 и 1250 °Ц. Са предностима перформанси које нису доступне у материјалу од силицијум карбида (СиЦ), Силицијум Вафер Боат пружа предности које се односе на ригорозне процесе које захтева производња полупроводника. Прво, ултра-висока чистоћа силицијумског материјала је значајна; у ствари, тхесилицијумски материјалпостиже нивое ултра-високе чистоће од преко 9Н (99,9999999%), чиме се осигурава да металне или стране нечистоће неће контаминирати обраду вафла. Ово је кључно за производњу врхунских полупроводничких уређаја где су контаминација под великим утицајем на поузданост перформанси и принос. Силицијумски чамац за плочице обезбеђује ултра чисто окружење са високим нивоом чистоће погодно за најнапредније индустријске захтеве за руковање плочицама изложеним веома високим температурама за оксидациону и редукциону обраду.

Још једна корист одсилицијумски материјалје његова нижа својства тврдоће у поређењу са СиЦ материјалом. СиЦ шипке или чамци су познати по тврдоћи и чврстоћи, али само својство може довести до потешкоћа током обраде плочица. На високим температурама, облатне ће се микропомерати; они ће лагано одскочити, мало се померити и ивице ће се искривити док су унутар чамца. Тврђи, СиЦ материјал може представљати већи ризик од стварања честица или огреботина на полеђини плочице јер својства плочице и чамца интерагују под овим условима обраде на високим температурама.

Силицијумски чамац ублажава ову забринутост тако што користи предност релативно меког карактера силицијума у ​​односу на СиЦ. Смањење тврдоће омогућава и мање трење и механичко напрезање када плочице контактирају чамац током термичких циклуса. Као резултат тога, честице се генеришу ређе и ризик од огреботина на полеђини је сведен на скоро нулу. Штавише, минимизирањем површинских дефеката, Силицијум Вафер Боат директно побољшава квалитет решетке и подиже укупну стопу квалификације обрађених облатни. За фабрике полупроводника који желе да побољшају приносе уз максималну контролу квалитета, ово стање перформанси чини силиконски чамац привлачном опцијом.

Силицијум нуди добру стабилност и механичку чврстоћу на високим температурама, омогућавајући чамцу да поуздано служи током поновљених циклуса пећи. Материјал је отпоран на савијање током циклуса грејања и хлађења, и на тај начин одржава прецизно постављање плочице и толеранцију позиционирања чак и током брзих циклуса пећи. Ова термичка робусност пружа поуздане резултате процеса који су довољно конзистентни за производњу великог обима са минималним варијацијама између серија. Силицијумски чамац је конструисан са високом димензионалном прецизношћу како би се обезбедило доследно позиционирање и постављање плочица. Чамац је произведен уз помоћ напредне машинске обраде и полирања како би се створиле глатке површине, блиска геометрија и чврсте толеранције.