Силицијумске чамце

Семицорек Силицон Бродови су специјализоване компоненте које се претежно користе у високотемтемпературности кристално раст, производњи полуводича и сродним фотонапонским секторима. Конструисани су од силицијума са високим чистоћима и направљене за задржавање вафла, подлога или сировина током топлотне прераде. То осигурава да се поступак догоди у чистом окружењу и контролисаном окружењу које је невероватно важно у осигуравању материјала који одржавају чистоћу и поуздане перформансе без контаминације.

Направљени су користећи напредне технике формирања и синтеровања, силицијумске чамце ће пружити врхунску димензионалну тачност и врхунску глатку површину. Ово је критично у постизању једноличних грејања компоненти натоварених на подлози или чамцу, који обезбеђује ниске топлотне градијете и недостатке током грејања и хлађења циклуса. Поред тога, имају високу тачку силицијума који значи да брод може да издржи екстремне температуре током било којег процеса (као што су дифузија, оксидација, епитакксија) без деформације или деградације материјала. И на крају, имају ниску коефицијент топлотног експанзије за силицијум који такође пружа механичку стабилност и смањује вероватноћу да пукну и испуштају када је у интеракцији са брзим термичким променама.

Једна главна корист повезана са силицијумним бродицама је њихова висока хемијска инертност. У агресивним процесним окружењима, силицијумске чамце не нападају халогени, киселине и реактивни гас, пружајући значајно осигурање да ће чамац не проћи деградирање површине или ће створити варијабилност у загађивачима у комору за прераду која може угрозити принос и квалитет производа. Чистоћа материјала, која може прелазити чистоћу од 99,999%, такође је изузетно важна у производњи полуводича, јер присуство чак и минутних количина контаминаната може драматично утицати на електрична својства крајњих уређаја.

Поред раста ингота, део процеса, силицијумске чамце се користе у већини корака од лимаца - и служе као поуздани и предвидљиви носачи силицијумског подлога током процеса топлоте. Силиконски бродови излажу сваки узорак до идентичног грејања и време изложености - конзистентност је кључна за одржавање квалитета кристала. Такође се могу имплементирати са свим врстама пећи дизајна и атмосфере процеса, што га чини производњом са универзалном захтевом на већину прерађивачких линија. Глатке површине унутрашњих преграда пружају мање оштећења разноликој механичкој структури вафла у поређењу с другим заиста грубим површинама које доприносе нижим ризицима микрофактуре уз појачавање коначне стопе приноса.

Силиконски чамци су од виталног значаја за производњу у полуводичкој индустрији дифузије или поступцима имплантације у полуводичу, где вафли морају бити тачно контролисани температури на ивици чамца, дуж бочне стране, и равномерно загрејане. Снага и топлотна проводљивост силицијума даје довољну резолуцију произвођача да контролише температуре процеса како би се минимизирала времена циклуса и оптимизирала ефикасност целокупног процеса. Инертност материјала неће оштетити интеракцију са гасним облицима допаната који омогућава уску контролу допинг профила.

Силиконски чамци се могу пројектовати у мају различите облике и величине који укључују равне, прорезне и разне прилагођене облике који испуњавају процесне захтеве појединог произвођача. Постоји неколико опција прилагођавања, укључујући дебљину зида, ширине утора и дизајне који испуњавају различит број вафера различитих величина. Ове опције омогућавају произвођачу да контролише термички проток, максимални капацитет чамаца и утовар / истовар чамаца.

Друго подручје у којем су предности површине силицијумског чамца одржавање чамаца и њихов користан живот. Генерално, силицијумске бродове пружају трајни радни век током одржавања неколико поступака руковања и чишћења за редовно чишћење бродова у подручјима високих температура у којима виде много "брзе топлотне бициклизам". Са добро одржаваном структуром, фреквенција замене ће се смањити, што резултира нижим трошковима пословања, а време памети.

Силиконски бродови су критични у савременој полуводичу и производњи соларне, где су контрола процеса и превенција контаминације кључно. Чистоћа, топлотна стабилност, механичка издржљивост и хемијска стабилност силицијумних бродица омогућавају њихову употребу у процесима који имају захтевне захтеве. Без обзира да ли у лабораторијском окружењу или већу индустријску праксу, силицијумске чамце могу понудити сталне и поуздане перформансе на начине који побољшавају квалитет производа, побољшавају принос и побољшавају ефикасност.

Максимизирање ових користи почиње проналажење висококвалитетног добављача силицијума. Произвођачи добављача који имају квалитетну контролу квалитета, прецизна обрада и успостављање чистих материјала могу да обезбеде само силицијумске чамце који се не могу мерити само на прецизне детаље, димензионалне границе и квалитет површине, већ производе силиконске чамце које су направљене од чистог материјала за дуготрајне перформансе и поузданост. Корисност силицијумних чамаца у препознавању производње силикона са неким од најсложенијих апликација и полу-производних полуводичких уређаја и високе ефикасности ПВ соларних ћелија се производе са употребом силицијумних чамаца.