Монокристална силиконска глава за туширање

Семицорек монокристални силицијумтушпоказује изузетну отпорност на корозију, низак коефицијент експанзије и одличну топлотну проводљивост. Чврсто се прилагођава тешким условима високе температуре, високе корозивности и високог вакуума у ​​производњи полупроводника, показује изузетну толеранцију на процесне гасове као што су гасови за нагризање и таложење. Због тога се глава туша од монокристалног силикона широко користи у процесима чишћења полупроводника, процесима оксидације, процесима таложења и процесима јеткања.

Семицорек користи напредне технике површинског третмана како би осигурао да површина главе туша од једног кристала од силикона има изузетно високу равност и глаткоћу. У међувремену, ослањајући се на стандардизовани дизајн структуре канала и путање гаса, површина монокристалне силиконске главе туша је равномерно распоређена са много пора истог пречника (минимални пречник може да достигне 0,2 милиметра). Толеранција пречника пора монокристалне силицијумске главе туша је прецизно контролисана на нивоу микрометара, а унутрашњи зид пора мора бити глатка и без неравнина, обезбеђујући тачност дистрибуције и униформност процесног гаса са структурног и процесног аспекта.

Семицорек пружа стручне услуге прилагођавања како би задовољио различите потребе клијената. У складу са различитим потребама својих клијената, може да прилагоди решења изгледа тако да одговарају димензијама и облику њихових реакционих комора. Оптимизовани дизајн омогућава плочицама да остваре потпун и конзистентан контакт са процесним гасом током реакционог процеса, гарантујући да је гас равномерно диспергован по реакционој комори. Ово на крају повећава ефикасност производње и квалитет производа.