Семицорек је водећи произвођач и добављач СиЦ сусцептора за МОЦВД. Наш производ је специјално дизајниран да задовољи потребе индустрије полупроводника у расту епитаксијалног слоја на чипу плочице. Производ се користи као средишња плоча у МОЦВД, са зупчаником или прстенастим дизајном. Има високу отпорност на топлоту и корозију, што га чини идеалним за употребу у екстремним окружењима.
Наш СиЦ сусцептор за МОЦВД је производ врхунског квалитета који има неколико кључних карактеристика. Обезбеђује премаз на целој површини, избегавајући љуштење, и има отпорност на оксидацију при високим температурама, обезбеђујући стабилност чак и на високим температурама до 1600°Ц. Производ је направљен са високом чистоћом кроз ЦВД хемијско таложење паре у условима хлорисања на високим температурама. Има густу површину са финим честицама, што га чини веома отпорним на корозију од киселина, алкалија, соли и органских реагенса.
Наш СиЦ сусцептор за МОЦВД је дизајниран да гарантује најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Спречава било какву контаминацију или дифузију нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Параметри СиЦ сусцептора за МОЦВД
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Vickers hardness |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ сусцептора за МОЦВД
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа