СИЦ пресвучени носачи

Семицорек се пресвучени носачи на расположењу су напредне компоненте које подржавају вафле за процесе високих температура у полуводичким апликацијама као што су епитаксијални раст, дифузија и цвд. Превозници пружају структурне користи од графита високе чистоће у комбинацији са максималним површинским предностима коришћењем густе и униформеСички премазЗа оптималну топлотну стабилност, хемијску отпорност и механичку чврстоћу под напорним условима обраде.

Графичко језгро високе чистоће за оптималну топлотну проводљивост

Превозник за обложене вафле су подложни материјал ултра-финог зрна, високо чистоће графита. То је ефикасан топлотни проводник, који је и лаган и изразит, може се измишљати у сложене геометрије које захтевају јединствену величину вафла и фактора процеса. Графит нуди једнолично гријање на површини од лимара који ограничавају појаву топлотних градијената и оштећења топлотне обраде.

Густи СИЦ премаз за површинску заштиту и компатибилност процеса

Графички носач је пресвучен високом чистоћом, ЦВД силицијумском карбидом. СИЦ премаз пружа непропусном, порезној слободној заштити од корозије, оксидације и контаминације гаса од врста као што су водоник, хлор и силански. Крајњи резултат је ниско честица, тврд носач који не дешава и не губи стабилност димензије, изаберите да подлеже бројним термичким циклусима и представља значајно смањени потенцијал за контаминацију вафла.

Предности и кључне карактеристике

Термички отпор: СИЦ премази су стабилни на температурама преко 1600 ° Ц, што је оптимизовано за епитакксију високе температуре и потребе дифузије.

Одлична отпорна на хемикализацију: избија све корозивне процесне гасове и хемикалије за чишћење и омогућава дужим животом и мање застоја.

ГЕНЕРАЦИЈА СИЦ-а: СИЦ површина минимизира љускање и проливање честица и чува чишћење процесног окружења које је витално за принос уређаја.

Контрола димензије: прецизно пројектована да би се затворила толеранције како би се осигурала јединствена подршка од рефлектора тако да се може аутоматски руковати са вафлима.

Смањење трошкова: Дужи животни циклуси и ниже потребе за одржавањем пружају ниже укупне трошкове власништва (ТЦО) од традиционалних графита или голих или голих носилаца.

Апликације:

Превозни носачи за пресвучене се широко користе у производњи полуводича снаге, једињени полуводичи (као што су ГАН, СИЦ), МЕМС, ЛЕД-ови и други уређаји који захтевају прераду високе температуре у агресивним хемијским окружењима. Посебно су од суштинског значаја у епитаксијалним реакторима, где чистоћа површине, издржљивост и топлотна униформност директно утичу на квалитет и ефикасност производње.

Конструкција и контрола квалитета

СемицорекСиц пресвученНосачи се производе под строгим протоколима контроле квалитета. Такође имамо флексибилност са стандардним величинама и конфигурацијама и можемо прилагодити инжењерска решења која испуњавају захтеве купаца. Без обзира да ли имате 4-инчни или 12-инчни формат одвлачења, можемо оптимизирати носаче од лима за хоризонталне или вертикалне реакторе, серије или једнократне прераде и специфичне рецепте за епитаксе.