ИЦП графит обложен силицијум карбоном

Семицорек-ов ИЦП графит обложен силиконом угљеником је идеалан избор за захтевно руковање плочицама и процесе наношења танког филма. Наш производ се може похвалити врхунском отпорношћу на топлоту и корозију, равномерном топлотном униформношћу и оптималним ламинарним обрасцима протока гаса.

Пошаљи упит

Опис производа

Носачи плочица који се користе у епитаксијалној обради раста морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек ИЦП графитни пријемници обложени силицијум-угљиком су пројектовани посебно за ове захтевне апликације опреме за епитаксију. Наш производ је пројектован да издржи високе температуре и грубо хемијско чишћење, обезбеђујући дуговечност и оптималне резултате.
Наш ИЦП графит обложен силицијум карбоном је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем ИЦП силиконском карбонском пресвученом графиту.

Параметри ИЦП графита обложеног силицијум угљеником

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300