Семицорек СиЦ Цоатед ИЦП Етцхинг Царриер конструисан посебно за опрему за епитаксију са високом отпорношћу на топлоту и корозију у Кини. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
Носачи плочица који се користе у фазама таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада плочица као што је јеткање морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује ИЦП носач за јеткање са СиЦ обложеном високом чистоћом пружа супериорну отпорност на топлоту, чак и термичку униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, као и трајну хемијску отпорност. Фини СиЦ кристални премаз обезбеђује чисту, глатку површину, критичну за руковање, јер нетакнуте плочице долазе у контакт са суцептором на многим тачкама по целој површини.
Наш СиЦ Цоатед ИЦП Етцхинг Царриер је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ Цоатед ИЦП Етцхинг Царриер.
Параметри носача за ИЦП јеткање обложеног СиЦ
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике високо чистог СиЦ Цоатед ИЦП Етцхинг Царриер
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа