Семицорек-ова СиЦ плоча за ИЦП процес јеткања је савршено решење за захтеве високе температуре и тешке хемијске обраде у таложењу танког филма и руковању плочицама. Наш производ се може похвалити врхунском отпорношћу на топлоту и равномерном топлотном униформношћу, обезбеђујући конзистентну дебљину и отпорност епи слоја. Са чистом и глатком површином, наш кристални премаз високе чистоће СиЦ обезбеђује оптимално руковање нетакнутим плочицама.
Остварите најквалитетније процесе епитаксије и МОЦВД помоћу Семицорек-ове СиЦ плоче за ИЦП процес јеткања. Наш производ је дизајниран посебно за ове процесе, нудећи врхунску отпорност на топлоту и корозију. Наш фини СиЦ кристални премаз обезбеђује чисту и глатку површину, омогућавајући оптимално руковање плочицама.
Наша СиЦ плоча за ИЦП процес јеткања је дизајнирана да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашој СиЦ плочи за ИЦП процес гравирања.
Параметри СиЦ плоче за ИЦП процес јеткања
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ плоче за ИЦП процес гравирања
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа