Графитне плочице пресвучене СиЦ-ом

Семицорек СиЦ пресвучен графитнаполитанкесу компоненте у облику диска, које се широко користе у ротационим МОЦВД системима за подршку и загревање плочица. Они могу олакшати уједначену дистрибуцију гаса и конзистентну дистрибуцију топлоте у реакционим коморама, пружајући оптимално процесно окружење за висококвалитетан и високо ефикасан епитаксијални раст. Семицорек СиЦ обложене графитне плочице сусцептори су погодни за апликације које захтевају одличну униформност танког филма, као што је ГаН епитаксија на сафирним подлогама.

Карактеристике Семицорек СиЦ обложених графитних плочица

Графитне плочице обложене Семицорек-ом СиЦ користе графит високе чистоће као основни материјал и наносе уједначену и густу превлаку од силицијум карбида на основу хемијског таложења паре. Користећи врхунске сировине и напредну производну технологију, Семицорек СиЦ обложени графитне плочице поседују следеће изванредне карактеристике.

1. Изузетна термичка стабилност

МОЦВД опрема обично ради на температурама изнад 1000℃, што намеће строге захтеве за перформансе унутрашњих компоненти при високим температурама. Семицорек СиЦ обложене графитне плочице могу добро да одговарају овим тешким радним условима и стабилно раде чак и током дуготрајног рада на високим температурама. Без превлаке или одвајања, Семицорек СиЦ обложене графитне плочице могу у великој мери елиминисати ризик од ослобађања гаса и нечистоћа из графитне базе.

2. Јака отпорност на корозију

Семицорек СиЦ обложене графитне плочице имају супериорну отпорност на оксидацију и отпорност на корозију током сложених услова високе температуре и јаке корозије. ЊиховаЦВД СиЦ премазмогу значајно спречити да њихова база буде еродирана процесним гасовима као што су НХ3 и Х2, минимизирају ослобађање контаминације угљеником и на тај начин побољшају чистоћу епитаксијалних филмова.

3.Одлична топлотна проводљивост

Семицорек СиЦ обложене графитне плочице имају поуздану способност управљања топлотом током процеса епитаксијалног раста јер њихове графитне базе и ЦВД СиЦ премази имају одличну топлотну проводљивост. Они могу да обезбеде уједначену дистрибуцију топлоте кроз плочице супстрата током процеса таложења танког филма, што резултира висококвалитетним епитаксијалним слојевима.