Графитни МОЦВД пријемници обложени СиЦ-ом

Графитни МОЦВД пријемници обложени СиЦ-омсу есенцијалне компоненте које се користе у опреми за таложење метал-органским хемијским парама (МОЦВД), које су одговорне за држање и загревање подлога за плочице. Са својим супериорним термичким управљањем, хемијском отпорношћу и стабилношћу димензија, графитни МОЦВД пријемници обложени СиЦ-ом се сматрају оптималном опцијом за висококвалитетну епитаксију супстрата плочице.

У производњи вафла,МОЦВДТехнологија се користи за изградњу епитаксијалних слојева на површини подлоге за плочице, припремајући се за производњу напредних полупроводничких уређаја. Пошто на раст епитаксијалних слојева утиче више фактора, подлоге за плочице се не могу директно поставити у МОЦВД опрему за таложење. Графитни МОЦВД пријемници пресвучени СиЦ-ом су потребни да држе и загревају подлоге плочице, стварајући стабилне термичке услове за раст епитаксијалних слојева. Према томе, перформансе МОЦВД пријемника са графитом обложених СиЦ директно одређују униформност и чистоћу танкослојних материјала, што заузврат утиче на производњу напредних полупроводничких уређаја.

Семицорек бираграфит високе чистоћекао материјал матрикса за своје графитне МОЦВД пријемнике обложене СиЦ-ом, а затим равномерно облаже графитну матрицу сасилицијум карбидапремазивање помоћу ЦВД технологије. У поређењу са конвенционалном технологијом, ЦВД технологија значајно побољшава чврстоћу везе између превлаке од силицијум карбида и графитне матрице, што резултира гушћом превлаком са јачом адхезијом. Чак и под захтевном високотемпературном корозивном атмосфером, премаз од силицијум карбида одржава свој структурни интегритет и хемијску стабилност током дугог периода, ефикасно спречавајући директан контакт између корозивних гасова и графитне матрице. Ово ефикасно избегава корозију графитне матрице и спречава да се графитне честице одвајају и контаминирају подлоге за плочице и епитаксијалне слојеве, обезбеђујући чистоћу и принос производње полупроводничких уређаја.

Предности  Семицорек-ових графитних МОЦВД пријемника обложених СиЦ

1. Одлична отпорност на корозију

2. Висока топлотна проводљивост

3. Врхунска термичка стабилност

4. Низак коефицијент топлотног ширења

5. Изузетна отпорност на топлотни удар

6. Висока глаткоћа површине

7. Трајни радни век