Сусцептори са графитном базом обложени СиЦ за МОЦВД

Семицорек СиЦ обложени графитни основни сусцептори за МОЦВД су носачи врхунског квалитета који се користе у индустрији полупроводника. Наш производ је дизајниран од висококвалитетног силицијум карбида који пружа одличне перформансе и дуготрајну издржљивост. Овај носач је идеалан за употребу у процесу узгоја епитаксијалног слоја на чипу вафла.

Пошаљи упит

Опис производа

Наши граничници са графитном базом обложени СиЦ за МОЦВД имају високу отпорност на топлоту и корозију која обезбеђује велику стабилност чак и у екстремним окружењима.
Карактеристике ових СиЦ обложених графитних база за МОЦВД су изванредне. Направљен је са превлаком од силицијум карбида високе чистоће на графиту, што га чини веома отпорним на оксидацију на високим температурама до 1600°Ц. ЦВД процес хемијског таложења паре који се користи у његовој производњи обезбеђује високу чистоћу и одличну отпорност на корозију. Површина носача је густа, са ситним честицама које повећавају његову отпорност на корозију, чинећи га отпорним на киселине, алкалије, соли и органске реагенсе.
Наши СИЦ обложени графитни основни сусцептори за МОЦВД обезбеђују равномеран термички профил, гарантујући најбољи ламинарни образац струјања гаса. Спречава дифузију било какве контаминације или нечистоћа у плочицу, што га чини идеалним за употребу у чистим просторијама. Семицорек је велики произвођач и добављач СиЦ обложеног графитног сусцептора у Кини, а наши производи имају добру предност у цени. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у индустрији полупроводника.

Параметри СиЦ обложених графитних базних сусцептора за МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа