Носач полупроводничких плочица за МОЦВД опрему

Можете бити сигурни да ћете купити носач полупроводничких плочица за МОЦВД опрему из наше фабрике. Полупроводнички носачи плочица су суштинска компонента МОЦВД опреме. Користе се за транспорт и заштиту полупроводничких плочица током процеса производње. Полупроводнички носачи плочица за МОЦВД опрему су направљени од материјала високе чистоће и дизајнирани су да одржавају интегритет плочица током обраде.

Пошаљи упит

Опис производа

наш носач полупроводничких плочица за МОЦВД опрему је суштинска компонента процеса производње полупроводника. Направљен је од графита високе чистоће са премазом од силицијум карбида ЦВД методом и дизајниран је за смештај више плочица. Носач нуди неколико предности, укључујући побољшани принос, повећану продуктивност, смањену контаминацију, повећану сигурност и исплативост. Ако тражите поуздан и квалитетан носач полупроводничких плочица за МОЦВД опрему, наш производ је савршено решење.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем носачу полупроводничких плочица за МОЦВД опрему.

Параметри полупроводничког носача плочице за МОЦВД опрему

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа