Као професионална производња, желели бисмо да вам обезбедимо полупроводничке компоненте. Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.
Компоненте обложене СиЦ-ом високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошног материјала од графита за вруће зоне раста кристала (грејачи, носачи за лончиће, изолација), до високо прецизних графитних компоненти за опрему за обраду плочица, као што су графитни носачи обложени силицијум карбидом за епитаксију или МОЦВД.
Предности за полупроводничке процесе
Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја.
Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.
Енд Еффецтор →
Крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача.
Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.
Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.
Семицорек СиЦ грејни филамент је графитни грејач обложен силицијум карбидом дизајниран за загревање плочица у напредној производњи полупроводника. Одабир Семицорек-а значи одабир партнера од поверења који испоручује материјале високе чистоће, прецизно прилагођавање и дуготрајне перформансе за најзахтевније термичке процесе.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек стезне главе од силицијум карбида су специјално дизајниране за фотолитографску опрему и имају вишеструке предности као што су висока прецизност, ултра-лагана тежина, висока крутост, низак коефицијент термичког ширења и одлична отпорност на хабање.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СиЦ цеви за пећи су цеви од силицијум карбида високе чистоће произведене напредном технологијом 3Д штампања, дизајниране за фотонапонске процесе на високим температурама. Семицорек испоручује најсавременија СиЦ решења са супериорном снагом, стабилношћу и поузданошћу у која верује соларна индустрија широм света.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СиЦ лопатице су конзолна рука високе чистоће од силицијум карбида дизајнирана за транспорт плочица у високотемпературним оксидационим и дифузионим пећима изнад 1000℃. Одабир Семицорек-а значи осигурање изузетног квалитета материјала, прецизног инжењеринга и дугорочне поузданости у коју верују водеће фабрике полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СиЦ Фоцус Ринг је компонента прстена од силицијум карбида високе чистоће дизајнирана да оптимизује дистрибуцију плазме и униформност процеса плочице у производњи полупроводника. Одабир Семицорек-а значи осигуравање доследног квалитета, напредног инжењеринга материјала и поузданих перформанси којима верују водеће фабрике полупроводника широм света.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек плоснаво рубњак Цхуцк је керамички диск направљен од белих глисерине високе чистоће, дизајнирано за мљевење ивица у полуводичкој производњи. Одабир Семицорек-а осигурава врхунски квалитет материјала, прецизно инжењеринг и поуздане перформансе које подржавају најзахтевније окружење за прераду резина. *
ОпширнијеПошаљи упит