Као професионална производња, желели бисмо да вам обезбедимо полупроводничке компоненте. Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.
Компоненте обложене СиЦ-ом високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошног материјала од графита за вруће зоне раста кристала (грејачи, носачи за лончиће, изолација), до високо прецизних графитних компоненти за опрему за обраду плочица, као што су графитни носачи обложени силицијум карбидом за епитаксију или МОЦВД.
Предности за полупроводничке процесе
Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја.
Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.
Енд Еффецтор →
Крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача.
Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.
Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.
Семицорек СИЦ прсти су прецизне инжењериране компоненте направљене од силицијумског карбида високог чистоће, дизајниране да наступају под екстремним захтевима производње полуводича. Одабир Семицорек-а значи приступ напредној стручности материјала, прецизијска прецизна прецизијска и поуздана решења која се верују у критичне апликације за руковање вафром. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Сиц Лид је хигх-чистоћа компонента Цомпонент Царбиде Цомпонент Цомпонент за екстремну полуводичку обраду обраде. Одабир полукруга значи обезбеђивање неограниченог квалитета материјала, прецизно инжењеринг и прилагођена решења која верују водећи произвођачи полуводича широм света. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Цомпонентс Цомпонентс високих перформанси које комбинују ефикасно електрично проводљивости са прецизним могућностима дистрибуције гаса. Одабир Семицорек-а значи партнерство са поузданим стручњаком који доноси врхунске квалитете, напредне технике производње, и поуздане, прилагодљиве силицијумне електродне решења прилагођене вашим специфичним потребама. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Силицон Бротти су високи чистоћи силиконски носачи дизајнирани за раст кристалног, полуводича и фото-фото-атрактијским процесима, пружајући изузетну топлотну стабилност и контролу контаминације. Одабир Семицорек-а значи приступање прецизним бродовима израђеним под строгом контролом квалитета како би се осигурало доследно перформансе у најзахтјевнијим окружењима. *
ОпширнијеПошаљи упитЦВД СиЦ премаз Семицорек СиЦ Цоатинг Хеатер нуди врхунске перформансе у заштити грејних елемената од грубих, корозивних и реактивних окружења која се често сусрећу у процесима као што су метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) и епитаксијални раст.**
ОпширнијеПошаљи упитМетална глава туша, позната као плоча за дистрибуцију гаса или глава за гас, је критична компонента која се увелико користи у процесима производње полупроводника. Њена примарна функција је да равномерно распоређује гасове у реакционој комори, обезбеђујући да полупроводнички материјали дођу у равномеран контакт са процесом гасови.**
ОпширнијеПошаљи упит