Као професионална производња, желели бисмо да вам обезбедимо полупроводничке компоненте. Семицорек је ваш партнер за унапређење обраде полупроводника. Наши премази од силицијум карбида су густи, отпорни на високе температуре и хемикалије, који се често користе у целом циклусу производње полупроводника, укључујући обраду полупроводничких плочица и плочица и производњу полупроводника.
Компоненте обложене СиЦ-ом високе чистоће су кључне за процесе у полупроводницима. Наша понуда се креће од потрошног материјала од графита за вруће зоне раста кристала (грејачи, носачи за лончиће, изолација), до високо прецизних графитних компоненти за опрему за обраду плочица, као што су графитни носачи обложени силицијум карбидом за епитаксију или МОЦВД.
Предности за полупроводничке процесе
Фазе таложења танког филма као што су епитаксија или МОЦВД, или обрада при руковању плочицама као што је јеткање или јонски имплант морају издржати високе температуре и грубо хемијско чишћење. Семицорек испоручује графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту и издржљиву хемијску отпорност, чак и топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја.
Поклопци комора →
Поклопци комора који се користе у процесу раста кристала и обраде плочица морају да издрже високе температуре и грубо хемијско чишћење.
Енд Еффецтор →
Крајњи ефектор је рука робота која помера полупроводничке плочице између позиција у опреми за обраду плочица и носача.
Улазни прстенови →
Улазни прстен за гас обложен СиЦ-ом помоћу МОЦВД опреме. Раст једињења има високу отпорност на топлоту и корозију, што има велику стабилност у екстремним условима.
Фокусни прстен →
Семицорек снабдева Фокусни прстен обложен силицијум карбидом је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Вафер Цхуцк →
Семицорек ултра равне керамичке вакуумске стезне главе су високе чистоће пресвучене СиЦ-ом које се користе у процесу руковања плочицама.
Семицорек Силицон Педестал Боат је 9Н носач вафла ултра-високе чистоће пројектован за прецизну и стабилну подршку плочице у процесима оксидације, дифузије и ЛПЦВД при високим температурама. Изаберите Семицорек за неупоредиву чистоћу материјала, прецизну машинску обраду и доказану поузданост*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Силицон Ињецтор је цеваста компонента ултра високе чистоће пројектована за прецизну испоруку гаса без контаминације у ЛПЦВД процесима таложења полисилицијума. Изаберите Семицорек за чистоћу водећу у индустрији, прецизну машинску обраду и доказану поузданост.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Силицон Вафер Боат је носач високе чистоће дизајниран за полупроводничке пећи на високој температури, подржавајући плочице током процеса оксидације и редукције на 1200–1250 °Ц. Семицорек обезбеђује врхунске производе, ултра чисте перформансе и поуздане резултате који директно повећавају принос уређаја.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек Силицон Схиелд Ринг је силиконска компонента високе чистоће пројектована за напредне системе за јеткање плазмом, која служи и као заштитни штит и као помоћна електрода. Семицорек обезбеђује ултра чисте перформансе, стабилност процеса и врхунске резултате јеткања са прецизно пројектованим полупроводничким компонентама.*
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СиЦ керамичка лопатица је конзолна компонента високе чистоће пројектована за полупроводничке пећи на високим температурама, која се првенствено користи у процесима оксидације и дифузије. Избор Семицорек-а значи добијање приступа напредним керамичким решењима која обезбеђују изузетну стабилност, чистоћу и издржљивост за критичне апликације за руковање плочицама.*
ОпширнијеПошаљи упитХалфмоон делови обложени Семицорек-ом СиЦ су прецизно пројектоване компоненте дизајниране као основни елементи епитаксијалне опреме, где се два дела у облику полумесеца комбинују да формирају комплетан склоп језгра. Избор Семицорек-а значи обезбеђивање поузданих, чистих и издржљивих решења која обезбеђују стабилну подршку за плочице и ефикасну проводљивост топлоте за напредну производњу полупроводника.*
ОпширнијеПошаљи упит