СиЦ процесне цеви

Семицорек СиЦ процесне цеви су важне структурне компоненте у оксидацији, дифузији, РТА/РТП у процесу производње полупроводника. Обично је то цев великог пречника као простор реакторске пећи, сви хемијски процеси ће се одвијати унутра. Дакле, снага, отпорност на топлотни удар су основне тачке за производ.

Процесне СиЦ цеви су направљене одсинтеровани силицијум карбид, то може бити СиСиЦ, ССиЦ или РСиЦ, и ЦВД СиЦ премаз на површини, који ће формирати слој ултра високе чистоће. Може спречити загађење честицама, пепелом итд. И материјал има веома високу отпорност на топлотни удар, тако да СиЦ процесне цеви могу остати стабилне у отпорности на високе температуре и спречити да се нечистоће таложе на високим температурама и на тај начин загађују животну средину.

Ове СиЦ процесне цеви су дизајниране за употребу у атмосферама са реактивним гасом (кисеоник), заштитним гасом (азотом) и минималним количинама гаса хлороводоника, и нуде изузетну хемијску отпорност, термичку стабилност и чистоћу материјала до 1250°Ц. Семицорек СиЦ процесне цеви комбинују најсавременију производњу 3Д штампања са премазом хемијског таложења паре (ЦВД) како би се обезбедиле супериорне перформансе и животни век у најекстремнијим термичким и хемијским условима.

Семицорек СиЦ процесне цеви се производе путем интегрисаног процеса обликовања 3Д штампе, а не конвенционалном пресованом или састављеном цеви. Овај производни процес омогућава континуалну, конзистентну структуру керамике без спојева и слабих делова, стварајући висок степен сложености и прецизности димензија, што може да ублажи концентрацију напрезања уз повећање механичке чврстоће. Штавише, монолитна структура обезбеђује заптивање непропусно за природни гас, смањујући контаминацију и цурење током процеса на високим температурама.

ТхеСиЦтело је материјал са ултра ниским садржајем нечистоћа (< 300 ппм), пружајући одличну чистоћу материјала и стабилност за реактивне атмосфере. Поред тога, цев је обложена ЦВД слојем силицијум карбида (< 5 ппм) да би се побољшала отпорност на корозију и површинска заштита.

Семицорек пружа прилагођену услугу, можемо произвести према цртежима купаца, како бисмо испунили захтеве захтеваних спецификација. Дакле, Семицорек СиЦ процесне цеви могу бити алтернативно погодне не само за хоризонталне пећи, већ и за вертикалне пећи.