ЦВД СиЦ обложене цеви за пећи

Семицорек ЦВД СиЦ пресвученцеви за пећсу процесне цеви великог пречника које обезбеђују стабилну реакциону комору за високотемпературну обраду полупроводничке плочице. Направљени су да раде у атмосферама које садрже кисеоник (гас реактант), азот (заштитни гас) и мале количине хлороводоника, са стабилном радном температуром од око 1250 степени Целзијуса.

Предност Семицорек ЦВД СиЦ обложених цеви за пећи

1. Напредна технологија обликовања и флексибилна производња за прилагођавање

Формирано помоћу технологије 3Д штампања, СемицорекЦВД СиЦ-обложене цеви за пећ имају бешавну, интегралну керамичку структуру без икаквих слабих делова. Ова технологија обликовања гарантује изузетну гасоотпорну заптивку, која ефикасно спречава спољашње загађиваче и одржава потребну температуру, притисак и атмосферско окружење за обраду полупроводничких плочица.

Поред тога, технологија 3Д штампања такође подржава производњу сложених облика и прецизну контролу димензија. Производња по мери је доступна за пречник, дужину, дебљину зида и толеранције у складу са различитим захтевима како би се осигурала потпуна компатибилност са вертикалним или хоризонталним пећима купаца.

2. Пажљив избор материјала и контрола чистоће

Семицорек ЦВД СиЦ обложене цеви за пећи су произведене од пажљиво одабраног материјала високе чистоће квалитета полупроводника. Садржај нечистоћа у њиховој матрици је контролисан на испод 300 ППМ, а садржај нечистоћа у ЦВД СиЦ превлаци је ограничен на мање од 5 ППМ. Ова строга контрола чистоће значајно смањује контаминацију плочице узроковану металним нечистоћама које се таложе у условима рада на високим температурама, што значајно побољшава принос и перформансе финалних полупроводничких уређаја. Осим тога, употреба ЦВД СиЦ премаза повећава отпорност на високе температуре, отпорност на хемијску корозију и термичку стабилност Семицорек ЦВД СиЦ обложених цеви за пећи, чиме се значајно продужава њихов радни век у тешким условима рада.

Са толико предности, Семицорек ЦВД СиЦ обложене цеви за пећи могу да обезбеде стабилан, погодан и ултра чист реакциони простор за обраду полупроводничких плочица. Конзистентна дистрибуција температуре и стабилна гасна атмосфера унутар пећи, коју омогућавају цеви пећи обложене Семицорек ЦВД СиЦ, помажу да се постигне прецизнија дифузија допинга, термичка оксидација, жарење и таложење танког филма.