Поли-Си спољни прстенови за гравирање

Обично се налази окотуш, Поли-Си спољни прстен делује као спојни део између издувног прстена и главе туша. Ради у сарадњи саелектростатичка стезна глава, Си туш глава, Си фокусни прстен, Си издувни прстен и Си заштитни прстен, стварајући стабилно и поуздано процесно окружење за високопрецизне операције јеткања.

Предности Семицорек поли-Си спољних прстенова за нагризање

Семицорек поли-Си спољни прстенови за нагризање су прецизно произведени од висококвалитетног полисилицијума, пружајући следеће одличне перформансе.

1. Висока чистоћа и низак садржај честица

2.Супериорна отпорност на високе температуре и висока отпорност на топлотни удар

3. Поуздана отпорност на корозију

4. Изузетне електричне перформансе и висока униформност електричне проводљивости

Функције Семицорек поли-Си спољних прстенова за нагризање

1. Стабилне перформансе уземљења

Користећи се за уземљење и заштиту електрода, Семицорек поли-Си спољни прстенови за нагризање могу да избегну статичку акумулацију као и оштећење лука и обезбеде стабилан рад система електрода, савршено испуњавајући захтеве процеса за напредну 3Д НАНД производњу.

2. Поуздана подршка

Семицорек поли-Си спољни прстенови за нагризање служе као битне компоненте које повезују издувни прстен и главу туша. Они обезбеђују поуздану механичку подршку за оба дела и држе их стабилно позиционираним на одговарајућем месту. Поред тога, употреба Семицорек поли-Си спољних прстенова за нагризање може спречити ерозију плазме на комори за гравирање, чиме се ефикасно обезбеђује стабилно извођење операције јеткања.

3. Компатибилност са процесом гравирања

Семицорек поли-Си спољни прстенови за јеткање имају низак садржај нечистоћа и изузетну отпорност на корозију, дајући одличну компатибилност са производњом силицијумских плочица, што у великој мери смањује дефекте плочице узроковане контаминацијом угравираним нуспроизводом и значајно обезбеђује високу стопу приноса у производњи полупроводника.