Силицијумске закривљене електроде

Током напредне опреме за гравирање, силиконска закривљена електрода се обично поставља на врх коморе за гравирање, окренута према полупроводничкој плочици. Силиконска закривљена електрода обично ради заједно са електростатичком стезном главом, Си фокусним прстеном, Си ивичним прстеном, Си издувним прстеном и Си заштитним прстеном како би се обезбедили оптимални услови рада за високо прецизно јеткање.

Функције Семицорек силиконских закривљених електрода

1. Компатибилан са сложеним 3Д гравирањем структуре

Са изузетном 3Д способношћу контроле електричног поља, Семицорексиликонске закривљене електродеможе савршено да одговара геометријским карактеристикама сложених структура. Посебан закривљени дизајн омогућава прецизну контролу плазме и оптимизовану дистрибуцију енергије, што значајно утиче на однос ширина и страна и вертикалност бочне стране гравирања 3Д структуре и у потпуности испуњава захтеве производне линије напредних процеса паковања и интеграције 3Д ИЦ.

2. Прецизна контрола дистрибуције Етцх Гас

Семицорек силиконске закривљене електроде имају вишеструко равномерно распоређене микро-рупе на својој површини да гас за нагризање уђе у комору за нагризање. Семицорек силиконске закривљене електроде могу постићи прецизну контролу над гасом за нагризање и омогућити му да буде равномерно распоређен у комори за нагризање, чиме се минимизирају варијације процеса узроковане неуједначеном дистрибуцијом гаса.

Предности Семицорек силиконских закривљених електрода

1. Ултра-висока чистоћа

Семицорек силиконске закривљене електроде су направљене од монокристала ултра високе чистоћесилицијумса нивоом чистоће изнад 99,9999999%, нудећи врхунску отпорност на ерозију плазме. Овај избор материјала високог стандарда може ефикасно да избегне нежељену контаминацију која је резултат нуспроизвода јеткања, а истовремено значајно продужава радни век силиконских закривљених електрода.

2. Одлична електрична својства

Произведене од монокристалног силицијума узгојеног у МЦЗ, Семицорек силиконске закривљене електроде показују врхунску униформност отпора: <5% и широк избор отпорности: ниска резолуција. (<0,02), средња рез. (1–4) и високе резолуције. (70–90).

3. Прецизна тачност обраде

Кроз механичку обраду високе прецизности, Семицорек силиконске закривљене електроде постижу конзистентну величину пора и уједначену расподелу рупа. Њихове површине су фино полиране и брушене: полиране (Ра < 0,1 μм) и брушене (Ра < 1,6 μм), са укупном прецизношћу обраде контролисаном унутар 0,03 мм.