СиЦ хоризонтална цев за пећ

Семицорек СиЦ Хоризонтал Фурнаце Тубе је прецизна керамичка процесна цев која се користи унутар пећи за хоризонталну дифузију и термичку обраду. Цев ствара стабилно и контролисано реакционо окружење за полупроводничке плочице током операција на високим температурама.

Приказани производ има интегрисану једноделну структуру произведену коришћењем напредне технологије 3Д штампања. Током рада, цев пећи је изложена реактивној и заштитној атмосфери гаса, укључујући:

* Кисеоник (реакциони гас)

* Азот (заштитни гас)

* Мале количине хлороводоника (ХЦл)

Радна температура може да достигне приближно 1250°Ц, што захтева да материјал одржи одличну термичку стабилност, хемијску отпорност и структурални интегритет током продужених производних циклуса.

У поређењу са традиционалним цевима за кварцне пећи,СиЦцеви за пећ обезбеђују супериорну топлотну проводљивост, већу механичку чврстоћу и значајно побољшану отпорност на топлотни удар и корозивне услове процеса.

Кључне карактеристике СиЦ хоризонталних цеви за пећи

Напредна 3Д штампана интегрисана структура

Цев пећи усваја напредну технологију једноделног обликовања 3Д штампања, омогућавајући компоненти да постигне сложене геометрије са одличном конзистенцијом димензија.

Интегрисана структура нуди неколико предности:

* Смањени интерфејси за склапање

* Побољшана чврстоћа структуре

* Побољшане перформансе заптивања

* Боља термичка униформност

* Већа поузданост током термичког циклуса

Ова метода производње такође омогућава прилагођене дизајне за различите системе полупроводничких пећи.

Ултра-низак садржај нечистоћа

Чистоћа је кључна у производњи полупроводника. Садржај нечистоћа основног материјала у цеви пећи СиЦ је контролисан испод 100 ППМ, док је садржај нечистоћа у ЦВД пресвлаку од силицијум карбида испод 1 ППМ.

Ултра-висока чистоћа помаже да се минимизира ризик од контаминације током обраде полупроводника, обезбеђујући стабилан квалитет плочице и побољшани принос уређаја.

Ниске перформансе контаминације су посебно важне за:

* Дифузија силицијумске плочице

* Оксидациони процеси

* Производња енергетских полупроводника

* Напредна производња интегрисаних кола

* Обрада сложених полупроводника

Висока топлотна проводљивост

Силицијум карбид показује одличну топлотну проводљивост у поређењу са конвенционалним материјалима за пећи. Ефикасан пренос топлоте омогућава цеви пећи да одржава високо уједначену дистрибуцију температуре у процесној комори.

Уједначене термичке перформансе помажу:

* Побољшајте доследност процеса

* Смањите температурне градијенте

* Смањите стрес на плочицу

* Повећајте поновљивост процеса

* Подржава прецизну термичку контролу

Ово је посебно вредно у процесима дифузије и оксидације при високим температурама где уједначеност температуре директно утиче на квалитет плочице.

Одлична стабилност на топлотни удар

Системи полупроводничких пећи често доживљавају брзе циклусе загревања и хлађења. СиЦ хоризонталне цеви за пећ пружају изузетну отпорност на топлотни удар, омогућавајући им да издрже озбиљне температурне флуктуације без пуцања или деформације.

Одлична стабилност термичког удара побољшава оперативну поузданост и продужава радни век у сталним условима производње на високим температурама.

Јака адхезија ЦВД СиЦ премаза

ТхеЦВД премаз од силицијум карбидаформира високо густ и издржљив заштитни површински слој са јаком снагом везивања за подлогу.

Премаз обезбеђује:

* Одлична отпорност на корозију

* Висока отпорност на хабање

* Повећана чистоћа површине

* Врхунска хемијска стабилност

* Продужен животни век у агресивном окружењу

Јака адхезија премаза такође помаже у спречавању љуштења или деградације током дуготрајног рада.

Отпорност на чишћење јаком киселином

У производњи полупроводника, процесне компоненте често захтевају периодично хемијско чишћење како би се уклонили таложени остаци и загађивачи. СиЦ цев за пећ показује одличну отпорност на јаке процесе чишћења киселином, одржавајући стабилан квалитет површине и структурни интегритет након поновљених циклуса одржавања.

Ова карактеристика помаже у смањењу застоја и подржава дугорочну стабилност процеса.

Примене СиЦ хоризонталних цеви за пећ

СиЦ хоризонталне цеви за пећи се широко користе у полупроводничкој опреми за термичку обраду, укључујући:

* Системи за оксидацију вафла

* Полупроводничке дифузионе пећи

* Опрема за жарење

* ЛПЦВД системи

* Коморе за термичку обраду

* Производња силицијумских плочица

* Производња енергетских полупроводника

* Обрада СиЦ и ГаН полупроводника

Посебно су погодни за високотемпературне полупроводничке процесе који захтевају ултра чисто окружење, високу термичку ефикасност и одличну хемијску отпорност.

Зашто одабрати Семицорек СиЦ хоризонталне цеви за пећ?

Семицорек је специјализован за компоненте од силицијум карбида за полупроводнике, пројектоване за захтевна окружења термичког процеса. Наше СиЦ хоризонталне цеви за пећ су произведене коришћењем материјала високе чистоће, напредне технологије ЦВД премаза и прецизних система контроле квалитета како би се обезбедиле поуздане дугорочне перформансе.

Нудимо:

* Висока чистоћаСиЦ материјали

* Прецизна 3Д интегрисана производња

* Одлична термичка и хемијска стабилност

* Јака адхезија ЦВД премаза

* Прилагодљиве димензије и структуре

* Контрола контаминације на нивоу полупроводника

* Поуздана глобална техничка подршка

Са великом стручношћу у области напредних керамичких материјала и полупроводничких процеса, Семицорек испоручује СиЦ решења високих перформанси која подржавају производњу полупроводника следеће генерације широм света.