Семицорек-ов сусцептор обложен силицијум карбидом за индуктивно спрегнуту плазму (ИЦП) је дизајниран посебно за процесе руковања плочицама на високим температурама као што су епитаксија и МОЦВД. Са стабилном отпорношћу на оксидацију при високим температурама до 1600°Ц, наши носачи обезбеђују равномерне термичке профиле, ламинарне обрасце протока гаса и спречавају контаминацију или дифузију нечистоћа.
Потребан вам је носач плочице који може да издржи високе температуре и оштре хемијске средине? Не тражите даље од Семицорек-овог пријемника обложеног силицијум карбидом за индуктивно спрегнуту плазму (ИЦП). Наши носачи имају фини СиЦ кристални премаз који пружа врхунску отпорност на топлоту, уједначену термичку униформност и издржљиву хемијску отпорност.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ сусцептору за индуктивно спрегнуту плазму (ИЦП).
Параметри сусцептора за индуктивно спрегнуту плазму (ИЦП)
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике суцептора обложеног силицијум карбидом за индуктивно спрегнуту плазму (ИЦП)
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа