Високотемпературни СиЦ премаз за коморе за плазма нагризање

Када су у питању процеси руковања плочицама као што су епитаксија и МОЦВД, Семицорек-ов високотемпературни СиЦ премаз за коморе за јеткање плазмом је најбољи избор. Наши носачи пружају врхунску отпорност на топлоту, равномерну термичку униформност и издржљиву хемијску отпорност захваљујући нашем фином премазу од СиЦ кристала.

Пошаљи упит

Опис производа

У Семицорек-у разумемо важност висококвалитетне опреме за руковање плочицама. Зато је наш високотемпературни СиЦ премаз за плазма коморе за нагризање конструисан посебно за високотемпературна и оштра хемијска окружења за чишћење. Наши носачи обезбеђују равномерне термичке профиле, ламинарне обрасце протока гаса и спречавају контаминацију или дифузију нечистоћа.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем високотемпературном СиЦ премазу за коморе за плазма нагризање.

Параметри високотемпературног СиЦ премаза за коморе за плазма нагризање

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике високотемпературног СиЦ премаза за коморе за плазма нагризање

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини

Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц

Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.

Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.

Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.

- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса

- Гарантује равномерност термичког профила

- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа

Хот Тагс: Високотемпературни СиЦ премаз за плазма коморе за нагризање, Кина, произвођачи, добављачи, фабрика, прилагођени, расути, напредни, издржљиви

Ознака производа

Повезана категорија