1к2" графитне плочице

У производњи полупроводничке плочице, епитаксијални слој се мора узгајати на супстрату плочице за накнадну производњу полупроводничких уређаја. Пошто је епитаксијални процес раста веома осетљив на температурне флуктуације и контаминацију, избор поузданихнаполитанкесу критично важне. Као незаменљиви потпорни делови у процесу епитаксијалне обраде плочице, прецизност обраде, способност управљања топлотом и перформансе отпорности на контаминацију су кључни фактори у постизању висококвалитетног раста епитаксије плочице.

Функције Семицорек 1к2" графитних плочица

Направљени од ултра финог зрна графита високе чистоће као матрице са густим премазом од силицијум карбида путем специјалних процеса, Семицорек 1к2" графитне плочице пружају следеће функције:

1.Безбедно и устајало држање

Семицорек 1к2"графитносачи плочица имају прецизну машинску обраду и обраду, дајући изузетну равност површине и тачност димензија. Ово осигурава да су чврсто причвршћени у одговарајућем положају и обезбеђује стабилну, равну платформу за подршку за епитаксијални раст плочице.

2. Прецизна равномерна дистрибуција топлоте

Уз одличну топлотну проводљивост графитних и СиЦ материјала, Семицорек 1к2" графитни носачи обезбеђују брзу и уједначену дистрибуцију топлоте по полупроводничкој супстанци. Минимизирајући температурне градијенте, Семицорек 1к2" графитне плочице могу ефикасно да избегну проблеме попут неуједначеног квалитета епитаксије и концентрације напона.

Предности премаза Семицорек од силицијум карбида

1.Супериорна отпорност на корозију

Прекривени густим премазом од силицијум карбида, Семицорек 1к2" графитне плочице су ефикасно отпорне на већину хемикалија, што их чини погодним за примену у високо корозивним радним условима где је материјал често изложен корозивним гасовима и хемијским парама.

2. Ниско одвајање честица

Семицорекпремаз од силицијум карбидаима високу чврстоћу везивања са графитном матрицом, што може значајно да избегне ризик од контаминације подлоге услед одвајања премаза услед корозије и испадања честица изазваних срединама високе корозије.

3. Поуздан радни век

Иако графитне матрице показују одличну термичку стабилност и механичку чврстоћу, склоне су корозији и уситњавању у условима рада епитаксијалног процеса, што значајно скраћује животни век необложених графитних матрица. Потпуно инкапсулирањем графитних матрица густим СиЦ премазима, наши 1×2" графитни носачи за плочице постижу супериорну и поуздану издржљивост.

Подаци о материјалу Семицорек СиЦ премаза