Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Семицорек тантал карбид пресвучен прстен је кључна компонента која се користи у обради полупроводника. Дизајниран је са специјализованим премазом који служи вишеструким функцијама за побољшање ефикасности и дуговечности графитних компоненти унутар полупроводничких машина. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложени графитни делови су прецизно израђене компоненте које су посебно дизајниране да издрже захтевно окружење обраде полупроводника. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер представља врхунско решење у области термичке примене за раст кристала и епитаксијалне (епи) процесе. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ Цоатинг Ринг стоји као кључна компонента у домену раста монокристала у термичком пољу. Израђен са прецизношћу и иновацијом, овај специјализовани прстен за вођење игра кључну улогу у сложеном процесу производње монокристалног материјала. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложена плочица сусцептор је кључна компонента која се користи у пећима за метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) за епитаксијалну (епи) обраду полупроводника. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ плоча обложена тантал-карбидом је врхунско решење дизајнирано да испуни строге захтеве производње полупроводника, посебно у фази епитаксијалне (епи) обраде. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит