Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Представљамо лончић обложен ЦВД Тац, савршено решење за произвођаче полупроводничке опреме и кориснике који захтевају највиши ниво квалитета и перформанси. Наши лончићи су обложени најсавременијим слојем ЦВД Тац (тантал-карбид), који пружа врхунску отпорност на корозију и хабање, што их чини идеалним за употребу у различитим полупроводничким апликацијама.
ОпширнијеПошаљи упит