Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Семицорек ТаЦ обложена плочица сусцептор је кључна компонента која се користи у пећима за метално-органско хемијско таложење паре (МОЦВД) за епитаксијалну (епи) обраду полупроводника. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ плоча обложена тантал-карбидом је врхунско решење дизајнирано да испуни строге захтеве производње полупроводника, посебно у фази епитаксијалне (епи) обраде. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложен водећи прстен, врхунац иновације у пећима за раст монокристала од СиЦ (силицијум карбида). Педантно дизајниран да испуни строге захтеве индустрије полупроводника, овај прстен за вођење обећава да ће редефинисати ваше процесе раста кристала са неупоредивом прецизношћу и поузданошћу.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек најсавременији графитни сусцептор са ТаЦ премазом, револуционарна компонента дизајнирана да подигне ваш епитаксијални процес на плочицу на нове висине ефикасности и прецизности. Израђен са неупоредивом стручношћу и коришћењем најсавременије технологије, Семицорек ТаЦ Цоатед Грапхите Сусцептор је конструисан да испуни строге захтеве производње полупроводника.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек обезбеђује висококвалитетне графитне делове обложене тантал карбидом са прилагођеном услугом. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек пружа тантал карбид пресвучен графитни сусцептор са прилагођеном услугом. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит