Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Заптивни прстен обложен Семицорек ТаЦ примењен на заптивне компоненте пружа изузетне предности у перформансама у захтевним окружењима производње полупроводника. ТаЦ премаз решава критичне изазове у вези са хемијском отпорношћу, екстремним температурама и механичким хабањем, омогућавајући веће приносе процеса, продужено време рада опреме и на крају, ниже трошкове производње. Ми у Семицорек-у смо посвећени производњи и испоруци заптивног прстена обложеног ТаЦ-ом високих перформанси који спаја квалитет и економичност.**
ОпширнијеПошаљи упитSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor is a critical component, playing a pivotal role in deposition processes essential for creating semiconductor wafers. Semicorex is committed to providing quality products at competitive prices, we look forward to becoming your long-term partner in China*.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек тантал карбидна глава је напредна компонента која се користи у опреми за производњу полупроводника, позната по својим изузетним термичким и механичким својствима. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини*.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложени прстен стоји као критична компонента која испуњава ове захтевне захтеве. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини*.
ОпширнијеПошаљи упитГлава туша обложена Семицорек ТаЦ је саставни део процеса хемијског таложења паре, пружајући неупоредиве перформансе и дуговечност. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини*.
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек ТаЦ обложена стезна глава представља значајан напредак у области производње полупроводника. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини*.
ОпширнијеПошаљи упит