Заптивни прстен обложен ТаЦ

Заптивни прстен обложен Семицорек ТаЦ примењен на заптивне компоненте пружа изузетне предности у перформансама у захтевним окружењима производње полупроводника. ТаЦ премаз решава критичне изазове у вези са хемијском отпорношћу, екстремним температурама и механичким хабањем, омогућавајући веће приносе процеса, продужено време рада опреме и на крају, ниже трошкове производње. Ми у Семицорек-у смо посвећени производњи и испоруци заптивног прстена обложеног ТаЦ-ом високих перформанси који спаја квалитет и економичност.**

Пошаљи упит

Опис производа

Заптивни прстен обложен Семицорек ТаЦ показује изузетну инертност према широком спектру корозивних гасова и хемикалија које се користе у полупроводничким процесима, укључујући хемије нагризања плазме (нпр. флуор, хлор, бром), допанте (нпр. бор, фосфор), и арсеник средства за чишћење. Ова инертност спречава деградацију заптивача и контаминацију осетљивих процесних комора.

А са тачком топљења већом од 3800°Ц, заптивни прстен обложен ТаЦ-ом одржава свој структурни интегритет и механичку чврстоћу на повишеним температурама које се јављају током обраде плочица. Ово обезбеђује поуздане перформансе заптивања током процеса жарења, таложења и јеткања при високим температурама.

Екстремна тврдоћа заптивног прстена обложеног ТаЦ-ом и низак коефицијент трења пружају изузетну отпорност на хабање, гребање и абразију. Ово је критично у апликацијама за динамичко заптивање где поновљено кретање или контакт са плочицама и другим компонентама може довести до стварања честица и квара заптивања.

Заптивни прстен обложен ТаЦ показује веома ниске стопе испуштања гасова, чак и на повишеним температурама, што их чини идеалним за апликације високог вакуума. Ово обезбеђује чистоћу процеса и спречава таложење нежељених загађивача на осетљивим површинама плочица.

Специфичне предности у примени полупроводника:

Продужени век трајања заптивача:Заптивни прстен обложен ТаЦ значајно продужава животни век заптивке пружајући супериорну отпорност на хемијске нападе, термичку деградацију и механичко хабање. Ово смањује учесталост замене заптивки, минимизирајући застоје и трошкове одржавања.

Побољшан принос процеса и квалитет плочице:Инертна природа заптивног прстена обложеног ТаЦ-ом минимизира стварање честица и контаминацију, што доводи до већег приноса процеса и побољшаног квалитета плочице. Ово је критично за производњу полупроводничких уређаја високих перформанси са строгим толеранцијама кварова.

Побољшано време рада и продуктивност опреме:Дужи век трајања заптивача и смањени захтеви за одржавање доприносе повећању радног времена опреме и укупној продуктивности. Ово је кључно за максимизирање производње и испуњавање захтева производње полупроводника велике количине.