Силиконски прстенови за гравирање

Силицијумски прстенови за нагризање су основне компоненте унутар плазма коморе за јеткање ЦЦП/ИЦП опреме и обично се постављају око полупроводничке плочице. Њихове примарне функције су да подржавају полупроводничку плочицу, одржавају уједначену дистрибуцију плазме, штите ивицу плочице и на тај начин помажу у стварању оптималних радних услова за процес плазма нагризања.

Предности Семицорек силиконских прстенова за гравирање

1. Избор врхунских материјала

Семицорек силиконски прстенови за гравирање се производе од пажљиво одабраног МЦЗ-а високе чистоћемонокристални силицијум, који нуди следећа одлична својства у односу на конвенционални ЦЗ монокристални силицијум.

Висока чистоћа: Чистоћа је преко 99,9999999%, што значи да Семицорек силиконски прстенови за гравирање не садрже скоро никакве нечистоће. Ова ултра-висока чистоћа може ефикасно да избегне сметње од нечистоћа компоненти током процеса гравирања, чиме се гарантује висока прецизност јеткања.

Стабилна структура: МЦЗ монокристални силицијум има супериорну кристалну структуру са мањим дефектима од конвенционалног ЦЗ монокристалног силицијума. Ова стабилна кристална структура даје Семицорек силиконским прстеновима за јеткање повећану отпорност на корозију на корозију плазме и омогућава им да издрже тешке услове рада јеткања.

Одлична униформност отпора:Семицорек силиконски прстенови за гравирањеиспоручују изузетну униформност отпора са РРГ < 5%. Лов Рес. (<0,02 Ω·цм), средња рез. (0,2–25 Ω·цм), висока рез. (>100 Ω·цм). Ова одлична уједначеност отпора може минимизирати неравномерну дистрибуцију плазме узроковану претерано високим или ниским отпором, што доприноси идеалном електричном пољу за високо прецизно нагризање плазме.

2. Прецизна обрада и строга инспекција квалитета

Семицорек се може похвалити искусним техничким тимом који може да обезбеди персонализована прилагођавања и техничке процене за наше цењене купце, а такође је успоставио систематске поступке обраде и инспекције како би гарантовао квалитет производа.

Флексибилне услуге прилагођавања: Семицорек подржава прилагођавање на основу цртежа купаца, а максимални прилагођени пречник силиконских прстенова за гравирање може бити до 470 мм.

Површинска обрада високог стандарда: Прецизност полирања може се строго контролисати унутар Ра < 0,1 µм, а фино брушење постиже завршну обраду површине од Ра > 0,1 µм.

Строга контрола квалитета: мерење димензија, испитивање отпорности и визуелна инспекција биће предузети како би се осигурало да прстенови за гравирање од силикона немају струготине, огреботине, пукотине, мрље и друге дефекте.