СиЦ премаз је танак слој на суцептору кроз процес хемијског таложења паре (ЦВД). Материјал од силицијум карбида пружа бројне предности у односу на силицијум, укључујући 10к јачину електричног поља при квару, 3к ширину појаса, што материјалу обезбеђује високу температурну и хемијску отпорност, одличну отпорност на хабање као и топлотну проводљивост.
Семицорек пружа прилагођену услугу, помаже вам да иновирате компоненте које трају дуже, скраћују време циклуса и побољшавају приносе.
СиЦ премаз има неколико јединствених предности
Отпорност на високе температуре: ЦВД СиЦ обложени пријемник може издржати високе температуре до 1600°Ц без значајне термичке деградације.
Отпорност на хемикалије: Превлака од силицијум карбида пружа одличну отпорност на широк спектар хемикалија, укључујући киселине, алкалије и органске раствараче.
Отпорност на хабање: СиЦ премаз пружа материјалу одличну отпорност на хабање, што га чини погодним за апликације које укључују велико хабање и хабање.
Топлотна проводљивост: ЦВД СиЦ премаз обезбеђује материјалу високу топлотну проводљивост, што га чини погодним за употребу у апликацијама на високим температурама које захтевају ефикасан пренос топлоте.
Висока чврстоћа и крутост: Носач обложен силицијум карбидом обезбеђује материјалу високу чврстоћу и крутост, што га чини погодним за примене које захтевају високу механичку чврстоћу.
СиЦ премаз се користи у различитим применама
Производња ЛЕД-а: ЦВД СиЦ обложени сусцептор се користи у производњи обрађених различитих типова ЛЕД, укључујући плаву и зелену ЛЕД, УВ ЛЕД и дубоку УВ ЛЕД, због своје високе топлотне проводљивости и хемијске отпорности.
Мобилна комуникација: ЦВД СиЦ обложени сусцептор је кључни део ХЕМТ-а да се заврши епитаксијални процес ГаН-он-СиЦ.
Обрада полупроводника: ЦВД СиЦ обложени сусцептор се користи у индустрији полупроводника за различите примене, укључујући обраду плочица и епитаксијални раст.
Графитне компоненте обложене СиЦ
Направљен од графита Силицон Царбиде Цоатинг (СиЦ), премаз се наноси ЦВД методом на специфичне разреде графита високе густине, тако да може да ради у високотемпературној пећи са преко 3000 °Ц у инертној атмосфери, 2200 °Ц у вакууму .
Посебна својства и мала маса материјала омогућавају брзе стопе загревања, уједначену дистрибуцију температуре и изузетну прецизност у контроли.
Подаци о материјалу Семицорек СиЦ премаза
Типичне особине |
Јединице |
Вредности |
Структура |
|
ФЦЦ β фаза |
Оријентација |
Фракција (%) |
111 преферирано |
Насипна густина |
г/цм³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Топлотна експанзија 100–600 °Ц (212–1112 °Ф) |
10-6К-1 |
4.5 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Закључак Сусцептор обложен ЦВД СиЦ је композитни материјал који комбинује својства суцептора и силицијум карбида. Овај материјал поседује јединствена својства, укључујући отпорност на високе температуре и хемикалије, одличну отпорност на хабање, високу топлотну проводљивост и високу чврстоћу и крутост. Ова својства га чине атрактивним материјалом за различите примене на високим температурама, укључујући обраду полупроводника, хемијску обраду, топлотну обраду, производњу соларних ћелија и производњу ЛЕД-а.
СИЦ Епитаки модул из Семицорек-а комбинује трајност, чистоћу и прецизно инжењерство, која је критична компонента у расту суштине СИЦ-а. Изаберите Семицорек за неуспоредиве квалитете у обложеном графитном решењима и дугорочним перформансама у захтевним окружењима. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек у горњем полу полумјесету је полукокружни СИЦ пресвучен графитски роштиљ дизајниран за употребу у епитаксијалним реакторима. Изаберите Семицорек за индустријски водећу материјалну чистоћу, прецизна обрада и једнолична СИЦ премаз који обезбеђује дуготрајне перформансе и врхунског квалитета вафла. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек се пресвлачени носачи за пресвлаке су високо-чистоће графитске суцепцице обложене ЦВД силицијумним карбидом, дизајнираним за оптималну подршку од резине током процеса полу-температуре полу-температуре полуводичких процеса. Изаберите Семицорек за неуспоредиве квалитете премаза, прецизна производња и доказана поузданост коју верују водећи полуводич Фабс широм света. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек СИЦ пресвучени суцепци су носачи високих перформанси дизајнирани посебно за ултратхин филмски депонирање под условима без притиска. Са напредним материјалима Инжењеринг, прецизна контрола порозности и робусна технологија за превлачење СИЦ-а, Семицорек доноси поузданост индустрије и прилагођавање да би се задовољила развијајуће потребе производње полуступника следеће генерације. *
ОпширнијеПошаљи упитПомицорек 8-инчни прстенови од вафер-а дизајнирани су тако да омогуће прецизно фиксирање лима и изузетним перформансама у агресивном топлотном и хемијском окружењу. Семицорек доноси инжењеринг специфично за примену, уска димензионална контрола и доследан квалитет сена за суочавање са строгим захтевима напредне полуводичке обраде. *
ОпширнијеПошаљи упитСемицорек РТП плочице за превлаке за превлаке су високо-перформанси носачи од перформанси инчилисирани за употребу у захтевању брзих окружења топлотне обраде. Поуздани од водећих произвођача полуводича, Семицорек испоручује врхунску термичку стабилност, трајност и контролу контаминације потпомогнуто ригорозним стандардима квалитета и прецизном производњом. *
ОпширнијеПошаљи упит