8-инчни ЕПИ топ прстен

Семицорек 8-инчни ЕПИ Горњи прстен је специјализована компонента система депонованих епитаксија (ЕПИ) који пружају високе перформансе као горњи поклопац на реакционом комору. Уз фокус на структурно интегритет и топлотну стабилност током епитаксијаног раста полуводичких вафера, ЕПИ Горњи прстен је направљен од високе чистоће графит и пресвуже силицијум карбидом (СИЦ) да издржи температуру и хемијски реактивно окружење производње полуводича.

У епитаксијалним реакторима, горњи прстен помаже да задржи животну средину и игра важну улогу у температурној униформи и протоку гаса током таложења као дела скупљачког склопа. СИЦ премаз на графитном подлогу пружа ЕПИ горњи прстен са топлотном стабилношћу и инертном окружењем Потребно је да заштити графитно језгро због излагања гасовима процеса током перформанси ЕПИ горњег прстена (водоник, силане, клоросиланес итд.). Тврдоћа и проводљивост СИЦ слоја појачавају перформансе ЕПИ горњег прстена спречавањем деградације и омогућавајући стабилније слојеве током целог производног циклуса.

Посвећености димензионалне тачности, усклађености премазности и поновљивости, 8-инчни ЕПИ Горњи прстен је произведен са прецизно инжењерством. Графитни супстрат се обрађује према уским толеранцијама и термички пречишћени у сегрегирање нечистоћа, испоручујући чисту подлогу одличну чистоћу и снагу. СИЦ премаз се примењује путем хемијског таложења паре (ЦВД), како би се формирао густ, доследан и снажно везан заштитни слој. Овај процес минимизира стварање честица и омогућава превлаку да одржава површински интегритет током проширене употребе.

Произвођачи полуводича се ослањају на ЕПИ Горњи прстен за одржавање критичних параметара коморе и подржавају вафле без оштећења током производње. Конфигурација је дизајнирана за употребу са водећим 8-инчним системима за прераду одливних плодова. Прилагођене опције доступне су за дебљине, површинске завршне обраде и зреле дизајне за боље топлотно управљање или чак расподјелу гаса.

У складу са својствима СИЦ-овог графита за ову апликацију узима комбинацију најбоље од имовине из оба материјала; Графит је веома обрађен и има топлотни отпор удара у комбинацији са силиконским карбидом који је теже, отпоран на корозију и има дужи радни век. Ова комбинација на крају даје ЕПИ топ прстен који је поуздан на високом температури и гарантује чисто и стабилно обраду окружења које смањује интервале одржавања и пружа укупну побољшану продукцију опреме.

Графитне компоненте играју неопходну и пресудну улогу у производњи полуводича. Квалитет графитног материјала значајно утиче на квалитет готовог производа. Наша конзистентност и хомогеност са графитом и материјална хомогеност се контролишу и загарантована током читавог процеса производње.

1.Смалл-серијска производња, користећи малу заштиту од карбонизације капацитета само 50 кубних метара.

2 Сваки комад материјала се надгледа и прати.

3. Температура за надгледање на више тачака унутар пећи осигурава минималне разлике температуре.

4. Температура за надгледање на више тачака на материјалу осигурава минималне разлике температуре.

8-инчни ЕПИ Горњи прстен од Семицорек-а нуди изузетне перформансе, конзистентност серије и доказане поузданости у најтежим полуводичима силицијум, силиконским карбидима или другим јединственим полуводичким процесима епитаксије. На сваком кораку производње производимо производе са контролом квалитета, што значи да сваки производ купљен за индустрију полуводича прелази спецификације квалитета.

Изаберите Семицорек-ов 8-инчни ЕПИ Горњи прстен за вашу епитаксу да бисте искористили могућности које се нуде прецизно инжењеринг, врхунског материјала и прилагођавања примене за побољшање приноса и перформанси уређаја.