Семицорек СиЦ обложени плочасти носачи за МОЦВД су висококвалитетни носачи дизајнирани за употребу у процесу производње полупроводника. Његова висока чистоћа, одлична отпорност на корозију, па чак и термички профил чине га одличним избором за оне који траже носач који може да издржи захтеве процеса производње полупроводника.
Наши носачи плоча обложени СиЦ-ом за МОЦВД имају високу чистоћу, што их чини одличним избором за оне који траже носач који је веома уједначен и конзистентан у својим својствима.
Наши носачи плоча обложени СиЦ-ом за МОЦВД направљени су са премазом од силицијум карбида високе чистоће на графиту, што га чини високо отпорним на оксидацију на високим температурама до 1600°Ц. ЦВД процес хемијског таложења паре који се користи у његовој производњи обезбеђује високу чистоћу и одличну отпорност на корозију. Веома је отпоран на корозију, са густом површином и ситним честицама, што га чини отпорним на киселине, алкалије, соли и органске реагенсе. Његова отпорност на оксидацију при високим температурама обезбеђује стабилност на високим температурама до 1600°Ц.
Параметри носача плоча обложених СиЦ за МОЦВД
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД
- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа