Носачи плоча обложени СиЦ за МОЦВД

Семицорек СиЦ обложени носачи плоча за МОЦВД су висококвалитетни носачи дизајнирани за употребу у процесу производње полупроводника. Његова висока чистоћа, одлична отпорност на корозију, па чак и термички профил чине га одличним избором за оне који траже носач који може да издржи захтеве процеса производње полупроводника.

Пошаљи упит

Опис производа

Наши носачи плоча обложени СиЦ-ом за МОЦВД имају високу чистоћу, што их чини одличним избором за оне који траже носач који је веома уједначен и конзистентан у својим својствима.
Наши носачи плоча обложени СиЦ-ом за МОЦВД направљени су са премазом од силицијум карбида високе чистоће на графиту, што га чини високо отпорним на оксидацију на високим температурама до 1600°Ц. ЦВД процес хемијског таложења паре који се користи у његовој производњи обезбеђује високу чистоћу и одличну отпорност на корозију. Веома је отпоран на корозију, са густом површином и ситним честицама, што га чини отпорним на киселине, алкалије, соли и органске реагенсе. Његова отпорност на оксидацију при високим температурама обезбеђује стабилност на високим температурама до 1600°Ц.

Параметри носача плоча обложених СиЦ за МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног сусцептора за МОЦВД

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију при високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високим температурама.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа