Поли-Си прстенови са прорезима

Прстенови са прорезима од поли-Си обично се постављају у реакциону комору напредне опреме за јеткање полупроводника. Они раде синергијски са силицијумским деловима, укључујући силицијумпрстенови за фокус, силиконски спољни прстенови и силицијумтушеве. Ови делови могу створити стабилно и оптимално реакционо окружење за процес гравирања, обезбеђујући одличнобакрописпрецизност и конзистентност процеса.

Функције Семицорек поли-Си прорезних прстенова

1. Семицорек поли-Си прорезни прстенови су опремљени са вишеструким равномерно распоређеним прорезима који служе као пролази за гас, који омогућавају несметано одвођење процесних гасова након реакције.

2. Семицорек поли-Си прстенови са прорезима могу да постигну одличну контролу плазме, нудећи поуздану заштиту за реакциону комору опреме за јеткање полупроводника.

3. Семицорек поли-Си прстенови са прорезима могу помоћи у подешавању електричног поља и притиска у комори, чиме се спречава да нестабилност утиче на конзистентност процеса нагризања.

Избор материјала високог стандарда

Семицорек поли-Си прстенови са прорезима су произведени од висококвалитетног поликристалног силицијума са нивоом чистоће од преко 99,9999%, што им даје врхунска својства као што следи.

1. Ултра-висока чистоћа и изузетно низак садржај нечистоћа.

2. Изузетна отпорност на корозију плазме.

3. Повољна електрична својства, са уједначеношћу отпора: РРГ ≤ 5%, ниска рез. (<0,02), средња рез. (1–4) и високе резолуције. (70–90).

Производне могућности и контрола квалитета

Опремљен напредном опремом за машинску обраду и искусним техничким тимом, Семицорек стриктно контролише сваки производни процес и нашим цењеним купцима нуди висококвалитетне и добро усклађене прстенове од поли-Си прореза. Поред тога, Семицорек спроводи строгу контролу над мерењем димензија, тестирањем отпорности и визуелном инспекцијом готових поли-Си прстенова са прорезима како би се осигурало да немају дефеката као што су струготине, огреботине, пукотине и мрље.