Алуминијумски нитридни грејачи

Семицорек Алуминиум Нитридни гријачи су најсавременији елементи грејања керамике дизајнирани за апликације које захтевају високу топлотну проводљивост, електричну изолацију и изузетну трајност. Инжењерирани од алуминијум нитридног керамике, ови грејачи пружају брзо и једнолико гријање, чинећи их идеалним за високо прецизно окружење, као што су се полуводичка обрада, медицинска дијагностика и напредна аналитичка инструментација.

Алуминијумски нитридни гријачи су кључне компоненте у полуводичкој опреми за танкој танкој танке. Они се директно примењују на комору процеса и у директном контакту са вафром. Не само да носе вафру, већ и осигуравају и да се вафни добије 

стабилна и јединствена температура процеса. Ова функција је неопходна за високе прецизне реакције на површини од линије и генерацију једноличних танких филмова.

Типично, алуминијумски нитридни гријачи укључују керамичку подлогу површином оптерећења листа и цилиндрично тело које је подржава на леђима. Поред отпорног топлотног круга за грејање, РФ електрода и електростатичка Цхуцк електрода и остали проводници такође се пружају на површини керамичке подлоге.

Опрема за танкој талогу за филм обично користи керамичке материјале на основуАлуминијум нитрид (Алн)Јер укључује окружење високог температура. Разлог зашто се алуминијумски нитридни грејачи фаворизују у полуводичкој производњи углавном због својих јединствених физичких и хемијских својстава. Алуминијум нитрид не само да има високу термичку проводљивост и може постићи брзо грејање и хлађење у кратком року, али такође има добру електричну изолацију и механичку чврстоћу, осигуравајући стабилност и поузданост грејача. Поред тога, коефицијент топлотног експанзије алуминијум нитрида сличан је оној силикону, што помаже у смањењу утицаја топлотног стреса на лифе и побољшати принос процеса.

Генерално гледано,керамичке грејалицеуглавном се користе у танкој опреми за депоновање филма. Пошто укључује високе температуре процесе, коришћени керамички материјал је углавном алуминијум нитрид; Електростатички стезави се углавном користе у структури за стругање, а коришћени керамички материјал је углавном алуминијум оксид. Са развојем полуводичке технологије, постоји преклапање између керамичких грејача и електростатичких Цхуцкс-а. На пример, керамички грејачи који се користе у танкој опреми за уклањање филма опремљени су електростатичким Цхуцкс-ом, који имају двоструке функције грејања високо-температуре и електростатичке адсорпције. Електростатички стезави који се користе и у опремању за стругање такође почињу да укључују високе температуре, а керамички материјал мора бити промењен из алуминијум оксида до алуминијум нитрида.