Електростатичка стезаљка ЕСЦ

Семицорек Елецтростатиц Цхуцк ЕСЦ ради на принципу електростатичке адхезије, користећи високонапонску једносмерну струју (ДЦ) примењену на његов диелектрични керамички слој. Ова технологија омогућава безбедно причвршћивање плочица или других материјала током обраде, обезбеђујући стабилност и прецизност у различитим фазама производње.

Када се на стезну главу примени високи једносмерни напон, наелектрисани јони унутар керамичког диелектричног слоја мигрирају и акумулирају се на његовој површини. Ово ствара јако електростатичко поље између стезне главе и производа који се обрађује. Генерисана електростатичка привлачност је довољно робусна да држи плочицу на месту, обезбеђујући да остане непомична чак и током сложених и високо прецизних операција. Ово сигурно држање је критично, јер помаже у смањењу микропомерања и вибрација, које би могле да угрозе квалитет и интегритет обрађених плочица. Могућност причвршћивања плочица са минималним механичким контактом такође спречава физичка оштећења, што је изразита предност у односу на традиционалне методе стезања.

Ј-Р тип Елецтростатиц Цхуцк ЕСЦ је опремљен уграђеним електродама које су неопходне за стварање ове електростатичке адхезије. Ове електроде су постављене унутар стезне главе да равномерно распоређују електростатичку силу по површини плочице или других материјала који се обрађују. Ова равномерна дистрибуција обезбеђује конзистентан притисак, који је неопходан за одржавање униформности током сложених процеса као што су нагризање, имплантација јона и таложење. Прецизна адхезија коју нуди Елецтростатиц Цхуцк ЕСЦ омогућава му да се прилагоди захтевним спецификацијама модерне производње полупроводника.

Поред своје примарне функције адхезије, електростатичка глава ЕСЦ има софистицирани систем контроле температуре. Стезна глава укључује интегрисане грејне елементе који су дизајнирани да регулишу температуру производа који се обрађује. Контрола температуре је кључни фактор у производњи полупроводника, јер чак и мале варијације температуре могу утицати на исход процеса. Електростатичка глава ЕСЦ нуди контролу температуре у више зона, омогућавајући да се различити делови плочице загревају или хладе независно. Ово осигурава да се температура константно одржава на целој површини вафла, промовишући уједначене резултате обраде и смањујући ризик од термичког оштећења или савијања.

Употреба материјала високе чистоће у конструкцији ЕСЦ-а је још једна значајна карактеристика. Материјали одабрани за ову стезну главу су дизајнирани да минимизирају контаминацију честицама, што је критична брига у производњи полупроводника. Чак и мале честице могу изазвати дефекте у микроструктури која се производи, што доводи до смањеног приноса и потенцијалног квара производа. Коришћењем материјала високе чистоће, електростатичка глава ЕСЦ смањује ризик од уношења загађивача у окружење за прераду, чиме се подржава производња високог квалитета.

Електростатички Цхуцк ЕСЦ је отпоран на ерозију плазме. У многим полупроводничким процесима, посебно у нагризању и таложењу, стезна глава је изложена реактивним окружењима плазме. Временом, ово излагање може деградирати материјале који се користе у стезној глави, утичући на њене перформансе и животни век. Електростатичка глава ЕСЦ је посебно пројектована да се одупре ерозији плазме, омогућавајући јој да одржи свој структурни интегритет и перформансе чак и у тешким процесним окружењима. Ова издржљивост значи дужи радни век, смањујући потребу за честим заменама и минимизирајући застоје у производној линији.

Механичка својства електростатичке стезне главе ЕСЦ су такође од критичне важности. Стезна глава је произведена са изузетно уским толеранцијама, обезбеђујући да задржи прецизан облик и димензије потребне за његове специфичне примене. Технике обраде високе прецизности се користе да би се постигла потребна равност и глаткост површине, које су неопходне за обезбеђивање равномерне електростатичке адхезије и минимизирање ризика од оштећења деликатних плочица. Механичка чврстоћа стезне главе је подједнако импресивна, омогућавајући јој да издржи физичка оптерећења наметнута током процеса високе температуре и високог притиска без деформисања или губитка способности да безбедно држи плочицу.