Електростатичке стезне главе од алуминијума нитрида

Електростатичке стезне главе од алуминијума нитрида користе електростатичке силе да безбедно држе плочице током различитих процеса производње полупроводника. Ова метода елиминише потребу за механичким стезаљкама или вакуум системима, смањујући ризик од стварања честица и механичког напрезања на деликатним плочицама. Једна од кључних предности електростатичких стезаљки од алуминијум нитрида је њихова способност да генеришу високо уједначену и стабилну електростатичку силу на целој површини плочице. Ово осигурава конзистентан контакт и спречава клизање или деформацију плочице током обраде, што доводи до побољшане униформности нанесених филмова, угравираних карактеристика и других критичних параметара. Ова униформна сила стезања такође минимизира изобличење плочице, што доводи до побољшаних перформанси уређаја и приноса.

Што се тиче термичких својстава, висока топлотна проводљивост алуминијумских нитридних електростатичких стезаљки омогућава ефикасно одвођење топлоте током процеса на високим температурама, спречавајући термички стрес и обезбеђујући уједначену дистрибуцију температуре по плочи. Ово је критично у апликацијама као што су брза термичка обрада и нагризање плазмом, где локализовано загревање може негативно утицати на перформансе уређаја. Осим тога, процес производње полупроводника често укључује брзе температурне прелазе. Висока отпорност на термички удар електростатичких стезних глава од алуминијум нитрида омогућава им да издрже ове изненадне промене температуре без деградације или пуцања, обезбеђујући дуговечност и поуздане перформансе стезне главе током дуже употребе. Штавише, АлН поседује коефицијент термичке експанзије (ЦТЕ) који је уско усклађен са коефицијентом силицијумских плочица. Ова компатибилност минимизира напрезање индуковано на интерфејсу плочице и стезне главе током термичког циклуса, спречавајући изобличење плочице, изобличење и потенцијалне дефекте који могу утицати на принос и перформансе уређаја.

АлН је механички робустан материјал високе чврстоће на савијање и жилавости лома. Ова инхерентна чврстоћа омогућава електростатичким стезаљкама од алуминијума нитрида да издрже механичка напрезања на која се сусрећу током производње великог обима, обезбеђујући доследне перформансе и продужени радни век. С друге стране, АлН показује одличну отпорност на широк спектар хемикалија и плазме које се обично користе у обради полупроводника. Такође показује супериорну отпорност на оксидацију чак и на повишеним температурама, обезбеђујући да површина електростатичких стезаљки од алуминијума нитрида остане нетакнута и не контаминира током целог радног века.

Семицорек електростатичке стезне главе од алуминијума нитрида су доступне у различитим величинама и дебљинама како би се прилагодиле различитим пречникима плочица и захтевима процеса. Ова прилагодљивост их чини погодним за широк спектар примена у производњи полупроводника, од истраживања и развоја до производње великог обима.