Керамичка стезна глава од алуминијум нитрида

Керамичка стезна глава од алуминијум нитрида представља врхунско решење за обраду полупроводничких плочица, посебно дизајнирано да безбедно држи плочице на месту током различитих фаза производње. Функционишући као електростатичка стезна глава (ЕСЦ), овај иновативни уређај користи изузетна својства керамике од алуминијум нитрида како би осигурао прецизно и поуздано задржавање плочице.

Семицорек алуминијум нитридна керамичка стезаљка користи електростатичке силе како би чврсто ухватила плочицу на њену површину. Ово се постиже педантно конструисаним плочама са интегрисаним електродама, које су стратешки пристрасне са високим напоном. Као резултат, између плоче и плочице се успоставља електростатичка сила држања, која ефективно имобилише плочицу на месту током фаза обраде.

Једна од истакнутих карактеристика керамичке стезне главе од алуминијум нитрида је њена изузетна комбинација високе топлотне проводљивости и изолационих својстава. Ова јединствена мешавина карактеристика чини га идеалним избором материјала за ЕСЦ апликације. Висока топлотна проводљивост обезбеђује ефикасну дисипацију топлоте, кључну за одржавање равномерне дистрибуције температуре по плочи током обраде. Истовремено, његова изузетна изолациона својства обезбеђују електричну изолацију између стезне главе и плочице, минимизирајући ризик од електричних сметњи или оштећења осетљивих полупроводничких компоненти.

Керамичка стезна глава од алуминијум нитрида нуди неколико предности у односу на традиционалне материјале за стезну главу. Његова робусна конструкција обезбеђује дугорочну издржљивост, способна да издржи ригорозне захтеве окружења за производњу полупроводника. Поред тога, његова компатибилност са процесима на високим температурама и отпорност на термичко ширење чине га незаменљивим алатом за постизање доследних и висококвалитетних резултата обраде вафла.